- 9/19 11:00
試料室への落下物を回収するため、一度真空を破りました。
試料室内の真空度が回復するまで使用禁止となります。
使用再開は9/20 9:00を予定しております。9/20 9:00
SEM使用再開しました。 - September 19, 11:00
We once broke the vacuum to recover the object that dropped into the sample chamber.
SEM is prohibited until the degree of vacuum in the sample chamber is restored.
We are planning to resume use at 9:00 on September 20.September 20, 9:00
The use resumed.
【SEM】SEM停止中
- 9/13 12:00
試料室への落下物を回収するため、一度真空を破りました。
試料室内の真空度が回復するまで使用禁止となります。
使用再開は9/14 8:00を予定しております。9/14 8:00
SEM使用再開しました。 - September 13, 12:00
We once broke the vacuum to recover the object that dropped into the sample chamber.
SEM is prohibited until the degree of vacuum in the sample chamber is restored.
We are planning to resume use at 8 o’clock on September 14.September 14, 8:00
The use resumed.
【Disabled】城北キャンパス停電によるクリーンルーム停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
8月26日(土）～８月27日(日）、は城北キャンパスが施設点検のため、停電となります。
このため、クリーンルームは、8月25(金)16：00～８月28日(月）13:30の期間、停止します。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
Everybody of the clean room user
It’ll be a blackout because Johoku campus is check of facilities on Saturday, August 26-on Sunday, August 27.
Therefore I do closing of facilities of a clean room in 16:00 on 25 Friday in August.
It resumes from 13:30 on Monday, August 28.
Please cooperate.
【Disabled】断水による装置停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
貯水槽清掃及び点検に伴う断水が有ります。
断水時には、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年9月4日(月) 9：00 ～ 12：00（3時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
There is no water with water tank cleaning and check.
Water supply will be cut off from Sep 4th at 9 a.m. to at 12 a.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【Disabled】断水(7/29土8時～7/30日17時)のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
城北講義棟新営工事に伴う断水が有ります。
この影響で、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年7月29日(土) 8：00 ～ 7月30日(日) 17：00（33時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、ナノデバイス作製・評価センター、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
Owing to new construction work of the lecture building, water supply will be cut off from July 29th at 8 a.m. to 30th at 5 p.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【SEM】SEM停止中
SEM停止中
大気導入によりSEM停止中です。
再開見込みは13：30です。
再開見込みは15：30です。
（15：30）SEM使用再開しました。SEM is disabled
SEM is disabled due to air introduction.
The resumption prospect is 13:30.
The resumption prospect is 15:30.
(15:30) SEM is enabled.
【Mask Aligner】アライナ使用できます（5/26追記）
アライナ故障中アライナ使用できます
UVランプの電源ユニットの故障により、アライナが使用できません。
使用再開のめどがたち次第報告します。
【5/26追記】
現在アライナは使用できます。
また不具合が発生したらすぐに職員までお知らせください。Failure of Mask AlignerMask Aligner is available
Mask aligner can not be used due to breakdown of UV lamp power supply unit.
We will report as soon as we can resume usage.
【Add on May 26th】
Mask aligner is available now.
In case of trouble, please notify the staff.
【Spin Coater】スピンコータの不具合
平成29年5月22日
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
スピンコーター（DELTA80T）使用出来ます(5/22)
ズース・マイクロテック社製のスピンコータ（DELTA80T）は、装置立上げ時にエラーメッセージ「Error from controller 47 Error lowering chuck」が発生していましたが、正常に起動出来るようになりました。
2017/5/17
To everybody of the clean room user.
Clean room management office
A spin coater (DELTA80T) can be used.(5/22)
Thank you.
【Disabled】大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について
大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について
連休中は職員不在のため電研共通窒素ラインのボンベ交換ができず、窒素ガスが不足しても対処できません。
そこで、窒素を大量に消費する以下の装置の使用を禁止します。・電気炉
・アライナまた、動作に窒素ガスを必要とする以下の装置に関しては、急を要する作業以外は極力使用を控えてください。
・ECRスパッタ
・SEM
・電子ビーム描画装置
・窒素ガンAbout suspended use of some devices during Golden Week (5/3～5/7)
During the holidays, the use of the following devices is prohibited.
・Electric Furnace
・Mask AlignerAlso, refrain from using the following devices unless absolutely necessary.
・ECR Sputter
・SEM
・Electron Beam Lithography System
・Nitrogen gun
【Disabled】断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ（再掲）
平成29年2月10日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ
施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。 このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月25日(土) 9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。