FE-SEMは以下の日時でメンテナンスを行います。
該当日に予約された方には1時間ほど使用を中止していただくお願いをすると思います。ご了承ください。

日にち：12月5日(月)～7日(水)のいずれか1日
時間　：日中(作業は1~2時間を予定しています。)
　　　　14:00～
内容　：PCのDVDドライブ交換作業

12月5日(月)15:00
メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使えます。

クリーンルーム利用者の皆様へ

平成28年11月22日

電研クリーンルーム
水野・清水

電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ

電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所316室の電子描画装置は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。

　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　描画装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

　　　                                        記

１　停止期間：　平成29年2月13日(月)　～　2月24日(金)

２　作業内容：　電子銃交換

イオンポンプ１交換
ロータリーポンプオーバーホール
各種パーツ交換
その他作業

以上

316室の段差計(アルファステップ)は故障により使用できません。
解決し次第お知らせいたします。

【11/7追記】
スタイラス(針)を交換しても装置が回復せず、業者に修理を依頼することになりました。
現在修理の見積もりを依頼している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/10追記】
本日修理の見積もりが届きました。
現在修理の日程を調整している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。

【11/14追記】
修理の日程が決まりました。
11/15(火)午後にアルファステップの修理を行います。
装置が使用できるようになりましたら再度お知らせいたします。

【11/15追記】
装置の修理が完了しました。
段差計(アルファステップ)は使用可能です。
利用者の皆様にはご迷惑をおかけしました。

クリーンルーム内のドラフトの定期点検があります。
日にち：11月2日(水)
時間　：9:00~10:00(予定)

点検中以下の装置は使用できません。
・ドラフト(3台)
・電気炉
・RIE
・スピンコーター

装置トラブルのお知らせ(対応完了）

　反射分光膜厚計(FE-3000)のPCが起動しない状態となり、反射分光膜厚計が使用出来ない状況となっていましたが、PC起動を行える状況となりました。　これにより反射分光膜厚計を使用出来ます。

PC起動が行えない原因は不明です。　　これに対応するため、PC電源は常時ONにし、モニタのみ電源のON/OFFを行う事にします。　皆様のご協力をお願い致します。

　　2016年10月28日(金)

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反射分光膜厚計(FE-3000)が現在使用できません。

原因は、装置付属のPC故障により、使用出来ない状況となりました。　現在対応を検討中です。

皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。

2016年10月26日(水)

四探針抵抗測定器、使用停止のお知らせ

　電研クリーンルーム（314室）の四探針抵抗測定器は、測定結果が不安定なため使用停止となりました。

クリーンルーム管理室では、測定結果不良の原因の特定のために、2016年9月28日にメーカーへ抵抗測定プローブと測定器を送付しました。　　　　今後は、メーカーからの連絡待ちとなりますが、修理等が必要になると思われます。

四探針抵抗測定器の使用開始日時は、現在のところ未定ですが、メーカーからの連絡が有りましたら、皆様には速やかにご連絡致します。

9/30　メーカの調査によると、四探針プローブに問題がありそうとことです。　現在、更なる調査を行い原因が確定後に修理を行う予定です。　クリーンルームへ装置が復帰し、利用出来る見込み日は10月13日（木）ぐらいになりそうです。

皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。

よろしくお願い致します。

316室蒸着装置のメンテナンス作業の結果、真空度が2時間で6.0×10^-4[Pa]まで到達するようになりました。
トラブル発生前の真空度まで回復しませんでしたが、装置の使用に支障はないと判断されます。
蒸着装置の使用再開をお知らせいたします。

また、現在DPのON/OFFランプの電球が切れてしまい、新しいものを発注中です。
ランプは点灯しませんが、DPは正常に稼働します。

DPのON/OFFランプ交換しました。2016/09/16

316室蒸着装置、使用停止のお知らせ

　316室の蒸着装置ですが、トラブルが発生したため現在使用出来ません。　トラブル内容は、操作ミスによる拡散ポンプのオイルの劣化です。

メンテナンスとして、拡散ポンプオイルとロータリーポンプオイルの交換を行いました。　しかし、チャンバーの真空度が２×１０-3[Pa]以下にならない状況でした。

これに対応するため、先日(7/27)拡散ポンプ内の洗浄作業（オイル焦げ付きの研磨）を行いました。　　現在(7/28)、このメンテナンス作業の結果を見るために、真空引き中です。

現在蒸着装置が使用不能のため、皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、鋭意作業中ですのでご容赦願います。

描画装置利用者の皆様へ

描画装置メンテナンスによる使用停止のお知らせ(完了しました7/19）

　電子描画装置のメンテナンス作業を下記のように行います。

作業時間中は、電子描画装置は利用出来ません。　皆様には、ご迷惑をおかけ致しますが、ご容赦願います。

不明な点は、水野までお問い合わせ願います。

よろしくお願い致します。

記

作業期日：平成28年7月１９日（火）

停止時間：11:00～17:00

作業内容：試料交換棒・ イオンポンプ制御装置のメンテナンス

作業者：電子描画装置製造社の技術者

以上

アライナ利用者の皆様

 アライナ復旧のお知らせ

　アライナのメンテナンス作業を6月30日（木）午前中に行いました。　これにより、アライナで不具合が発生していた、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が復旧しました。　これにより、マスクとサンプルのアライメント操作が行えるように復旧しました。 

不具合の原因としては、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構を構成しているネジが外れたため、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が機能していない状態でした。

上記で不明な点は、水野までお問い合わせ願います。　よろしくお願い致します。