クリーンルーム利用者の皆様へ

平成29年2月3日

電研クリーンルーム
水野・清水

FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ

　電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)ですが、サンプルの導入・搬出作業時に大気導入による停止が頻発しています。　　　ここ一週間の間に十数回の大気導入による停止が発生し、ここ数日は、ベテラン利用者も同様のトラブルを発生させています。　この状態は、操作ミスよりも装置に起因するトラブルの可能性が高いため、装置の真空ポンプ系保護のために、FE-SEMを利用停止とします。　なお、2月6日（月）～2月9日（木）に定期メンテナンスを行いますので、この定期メンテナンスで通常状態に復帰する予定です。

皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

１　停止期間：　平成29年2月3日(金)　～　2月9日(木)

２　内　　容：　FE-SEM真空ポンプ系保護のための利用停止　(2/3～2/5)

JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整　(2/6～2/9)

以上

【2/9追記】
2月9日（木）16:30　メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使用できます。

現在ウェッジワイヤーボンダは故障により使用できません。
修理が完了し次第お知らせします。

故障日　：12月6日(火)
故障内容：ワイヤーのボビンを回転させるためのOリングが切れました。

【修理進捗】
12/7 新しいOリングを発注しました。
12/8 新しいOリングが届きました。
12/8 新しいOリングを取り付けました。
　　　ワイヤーはクランパーまで通してあります。
　　　ウェッジに通してからご使用ください。
12/9 ワイヤーをウェッジまで通しました。
　　　ウェッジワイヤーボンダは正常に使えます。

クリーンルーム利用者の皆様へ

平成28年12月6日

電研クリーンルーム
水野・清水

FE-SEM定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ

電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。　電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。

皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

１　停止期間：　平成29年2月6日(月)　～　2月9日(木)

２　作業内容：　JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整

以上

現在316室の蒸着装置はメンテナンス中のため使用できません。
メンテナンスが終了し次第お知らせします。
よろしくお願いします。

日にち：12月5日(月)~
内容　：真空ポンプ内オイルの交換
　　　　真空引きテスト

【12/7追記】
メンテナンス終了しました。
316室の蒸着装置は正常に使用できます。

電子工学研究所の漏水点検に伴い、以下の日程で断水が発生する可能性があります。
影響を受ける装置は「超純水製造システム」です。

日にち：12月3日(土)
時間　：終日(9:00~17:00)

電子工学研究所には受水槽があるので、受水槽内の水が無くなるまでは断水しません。

FE-SEMは以下の日時でメンテナンスを行います。
該当日に予約された方には1時間ほど使用を中止していただくお願いをすると思います。ご了承ください。

日にち：12月5日(月)～7日(水)のいずれか1日
時間　：日中(作業は1~2時間を予定しています。)
　　　　14:00～
内容　：PCのDVDドライブ交換作業

12月5日(月)15:00
メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使えます。