電研クリーンルーム利用者の皆様

城北講義棟新営工事に伴う断水が有ります。

この影響で、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。

皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。

記

断水日時　　：　平成29年7月29日(土)　8：00　～　7月30日(日)　17：00（33時間）

断水範囲　　：　電子工学研究所、ナノデバイス作製・評価センター、光創起イノベーション研究拠点

操作停止装置：　超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）

注　　意　　：　電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。

以上

Owing to new construction work of the lecture building, water supply will be cut off from July 29th at 8 a.m. to 30th at 5 p.m. in the following areas.

• Research Institute of Electronics
• Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
• Innovative Photonics Evolution Research Center

In the clean room, the following equipment will be suspended.

• Ultrapure Water Production System
• RIE (Reactive Ion Etching)
• Draft Chamber for wet

Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.

平成29年5月22日

クリーンルーム利用者の皆様

クリーンルーム管理室

スピンコーター（DELTA80T）使用出来ます(5/22)

ズース・マイクロテック社製のスピンコータ（DELTA80T）は、装置立上げ時にエラーメッセージ「Error from controller 47 Error lowering chuck」が発生していましたが、正常に起動出来るようになりました。

2017/5/17

To everybody of the clean room user.

Clean room management office

A spin coater (DELTA80T) can be used.(5/22)

 Thank you.

平成29年2月10日

クリーンルーム利用者の皆様へ

クリーンルーム管理室
水野・清水

断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ

　　施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。　このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

日　　時：平成29年3月25日(土)　9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）

以上

日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。