現在316室の蒸着装置はメンテナンス中のため使用できません。
メンテナンスが終了し次第お知らせします。
よろしくお願いします。
日にち：12月5日(月)~
内容 ：真空ポンプ内オイルの交換
真空引きテスト
【12/7追記】
メンテナンス終了しました。
316室の蒸着装置は正常に使用できます。
【Ultrapure Water】断水のお知らせ
電子工学研究所の漏水点検に伴い、以下の日程で断水が発生する可能性があります。
影響を受ける装置は「超純水製造システム」です。
日にち：12月3日(土)
時間 ：終日(9:00~17:00)
電子工学研究所には受水槽があるので、受水槽内の水が無くなるまでは断水しません。
【FE-SEM】FE-SEMメンテナンスのお知らせ（12/5追記）
FE-SEMは以下の日時でメンテナンスを行います。
該当日に予約された方には1時間ほど使用を中止していただくお願いをすると思います。ご了承ください。
日にち：12月5日(月)～7日(水)のいずれか1日
時間 ：日中(作業は1~2時間を予定しています。)
14:00～
内容 ：PCのDVDドライブ交換作業
12月5日(月)15:00
メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使えます。
【EB Lithography】電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ（再掲）
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成28年11月22日
電研クリーンルーム
水野・清水
電子描画装置定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所316室の電子描画装置は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 描画装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月13日(月) ～ 2月24日(金)
２ 作業内容： 電子銃交換
イオンポンプ１交換
ロータリーポンプオーバーホール
各種パーツ交換
その他作業
以上
【Surface Profilometry】段差計(アルファステップ)故障中→修理完了
316室の段差計(アルファステップ)は故障により使用できません。
解決し次第お知らせいたします。
【11/7追記】
スタイラス(針)を交換しても装置が回復せず、業者に修理を依頼することになりました。
現在修理の見積もりを依頼している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。
【11/10追記】
本日修理の見積もりが届きました。
現在修理の日程を調整している段階です。
進展があり次第お知らせいたします。
【11/14追記】
修理の日程が決まりました。
11/15(火)午後にアルファステップの修理を行います。
装置が使用できるようになりましたら再度お知らせいたします。
【11/15追記】
装置の修理が完了しました。
段差計(アルファステップ)は使用可能です。
利用者の皆様にはご迷惑をおかけしました。
【Draft Chamber】ドラフト定期点検のお知らせ
クリーンルーム内のドラフトの定期点検があります。
日にち：11月2日(水)
時間 ：9:00~10:00(予定)
点検中以下の装置は使用できません。
・ドラフト(3台)
・電気炉
・RIE
・スピンコーター
【Thickness Monitor】FE-3000トラブルのお知らせ
装置トラブルのお知らせ(対応完了）
反射分光膜厚計(FE-3000)のPCが起動しない状態となり、反射分光膜厚計が使用出来ない状況となっていましたが、PC起動を行える状況となりました。 これにより反射分光膜厚計を使用出来ます。
PC起動が行えない原因は不明です。 これに対応するため、PC電源は常時ONにし、モニタのみ電源のON/OFFを行う事にします。 皆様のご協力をお願い致します。
2016年10月28日(金)
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反射分光膜厚計(FE-3000)が現在使用できません。
原因は、装置付属のPC故障により、使用出来ない状況となりました。 現在対応を検討中です。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
2016年10月26日(水)
【Four-probe Measuring】四探針抵抗測定器、使用停止のお知らせ
四探針抵抗測定器、使用停止のお知らせ
電研クリーンルーム（314室）の四探針抵抗測定器は、測定結果が不安定なため使用停止となりました。
クリーンルーム管理室では、測定結果不良の原因の特定のために、2016年9月28日にメーカーへ抵抗測定プローブと測定器を送付しました。 
今後は、メーカーからの連絡待ちとなりますが、修理等が必要になると思われます。
四探針抵抗測定器の使用開始日時は、現在のところ未定ですが、メーカーからの連絡が有りましたら、皆様には速やかにご連絡致します。
9/30 メーカの調査によると、四探針プローブに問題がありそうとことです。 現在、更なる調査を行い原因が確定後に修理を行う予定です。 クリーンルームへ装置が復帰し、利用出来る見込み日は10月13日（木）ぐらいになりそうです。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
よろしくお願い致します。
【Notice】装置操作手引きのホームページ掲載について
電研クリーンルーム利用者の皆様
いつもクリーンルームの運用にご協力いただき、ありがとうございます。
クリーンルームでは、初めて装置を扱う利用者の方に対して、装置の扱い方を指導するとともに操作手引きをお渡しています。 しかし、操作手引きの内容はその時々の装置の状態に合わせて少しずつ変化しています。そこで、利用者の皆様がいつでも最新版の操作手引きを確認できるよう、操作手引きをホームページに掲載することにしました。
「装置」ページから移動した「各装置の詳細ページ」に掲載しております。
操作手引きには〔PDF版〕と〔電子書籍版〕の2種類があります。
〔PDF版〕
紙媒体に印刷して読むことを前提に作られています。
装置の操作に慣れていない方におすすめです。
〔電子書籍版〕
携帯端末の電子書籍リーダーで読むことを前提に作られています。
紙媒体のようにかさばらず、携帯端末さえあればどこでも確認することができます。
装置の操作に慣れている方におすすめです。
電子書籍版は学内ネットワークに接続していないとアクセスできませんが、一度ダウンロードしてしまえばオフライン状態でも読むことができます。手順は以下のとおりです。
1. 各装置の詳細ページから操作手引きの電子書籍版を選択します。
(静岡大学情報基盤センター提供のページが表示されます。)
2. ダウンロードを選択します。
3. “iBooks”や“Google Play Books”等の電子書籍リーダーで開きます。
現段階では一部の装置の操作手引きのみの掲載となっておりますが、ぜひご活用ください。
【Vacuum Coater】316室蒸着装置の現状と使用再開のお知らせ
316室蒸着装置のメンテナンス作業の結果、真空度が2時間で6.0×10-4[Pa]まで到達するようになりました。
トラブル発生前の真空度まで回復しませんでしたが、装置の使用に支障はないと判断されます。
蒸着装置の使用再開をお知らせいたします。
また、現在DPのON/OFFランプの電球が切れてしまい、新しいものを発注中です。
ランプは点灯しませんが、DPは正常に稼働します。
DPのON/OFFランプ交換しました。2016/09/16