News 一覧へ What's New 2024/12/11 NEW! 電子線描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00- 12/25) 2024/11/28 年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ(12/26(木)9:00-1/7(火)9:00) 2024/11/28 走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のお知らせ(12/2(月)13:00-19:00) 2024/10/18 マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木)) 2024/09/27 電子線描画装置利用再開のお知らせ 2024/07/25 夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00) 2024/07/02 電子描画装置利用停止のお知らせ(利用再開未定）※9/25(水)追記 2024/07/01 冷却水系統停止による一部装置利用停止のお知らせ(7/3(水)9:00-17:00) 2024/05/13 停電とメンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(6/21-7/1)※6/27 追記（EB装置） 2024/02/20 電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/26-3/8)