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What's New
2024/10/18
NEW! マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木))
2024/09/27
電子線描画装置利用再開のお知らせ
2024/07/25
夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00)
2024/07/02
電子描画装置利用停止のお知らせ(利用再開未定）※9/25(水)追記
2024/07/01
冷却水系統停止による一部装置利用停止のお知らせ(7/3(水)9:00-17:00)
2024/05/13
停電とメンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(6/21-7/1)※6/27 追記（EB装置）
2024/02/20
電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/26-3/8)
2024/01/26
装置講習・技術相談問い合わせフォーム追加のお知らせ
2023/11/29
年末年始におけるクリーンルーム利用停止のお知らせ(1/4追記_描画装置利用再開1/9~)
2023/10/17
装置予約システム利用制限のお知らせ(10/19)