Reserch Institute of Electronics Clean Room
装置トラブルのお知らせ(対応完了）
反射分光膜厚計(FE-3000)のPCが起動しない状態となり、反射分光膜厚計が使用出来ない状況となっていましたが、PC起動を行える状況となりました。 これにより反射分光膜厚計を使用出来ます。
PC起動が行えない原因は不明です。 これに対応するため、PC電源は常時ONにし、モニタのみ電源のON/OFFを行う事にします。 皆様のご協力をお願い致します。
2016年10月28日(金)
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反射分光膜厚計(FE-3000)が現在使用できません。
原因は、装置付属のPC故障により、使用出来ない状況となりました。 現在対応を検討中です。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
2016年10月26日(水)
四探針抵抗測定器、使用停止のお知らせ
電研クリーンルーム（314室）の四探針抵抗測定器は、測定結果が不安定なため使用停止となりました。
クリーンルーム管理室では、測定結果不良の原因の特定のために、2016年9月28日にメーカーへ抵抗測定プローブと測定器を送付しました。 
今後は、メーカーからの連絡待ちとなりますが、修理等が必要になると思われます。
四探針抵抗測定器の使用開始日時は、現在のところ未定ですが、メーカーからの連絡が有りましたら、皆様には速やかにご連絡致します。
9/30 メーカの調査によると、四探針プローブに問題がありそうとことです。 現在、更なる調査を行い原因が確定後に修理を行う予定です。 クリーンルームへ装置が復帰し、利用出来る見込み日は10月13日（木）ぐらいになりそうです。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますがご容赦願います。
よろしくお願い致します。
電研クリーンルーム利用者の皆様
いつもクリーンルームの運用にご協力いただき、ありがとうございます。
クリーンルームでは、初めて装置を扱う利用者の方に対して、装置の扱い方を指導するとともに操作手引きをお渡しています。 しかし、操作手引きの内容はその時々の装置の状態に合わせて少しずつ変化しています。そこで、利用者の皆様がいつでも最新版の操作手引きを確認できるよう、操作手引きをホームページに掲載することにしました。
「装置」ページから移動した「各装置の詳細ページ」に掲載しております。
操作手引きには〔PDF版〕と〔電子書籍版〕の2種類があります。
〔PDF版〕
紙媒体に印刷して読むことを前提に作られています。
装置の操作に慣れていない方におすすめです。
〔電子書籍版〕
携帯端末の電子書籍リーダーで読むことを前提に作られています。
紙媒体のようにかさばらず、携帯端末さえあればどこでも確認することができます。
装置の操作に慣れている方におすすめです。
電子書籍版は学内ネットワークに接続していないとアクセスできませんが、一度ダウンロードしてしまえばオフライン状態でも読むことができます。手順は以下のとおりです。
1. 各装置の詳細ページから操作手引きの電子書籍版を選択します。
(静岡大学情報基盤センター提供のページが表示されます。)
2. ダウンロードを選択します。
3. “iBooks”や“Google Play Books”等の電子書籍リーダーで開きます。
現段階では一部の装置の操作手引きのみの掲載となっておりますが、ぜひご活用ください。
316室蒸着装置のメンテナンス作業の結果、真空度が2時間で6.0×10-4[Pa]まで到達するようになりました。
トラブル発生前の真空度まで回復しませんでしたが、装置の使用に支障はないと判断されます。
蒸着装置の使用再開をお知らせいたします。
また、現在DPのON/OFFランプの電球が切れてしまい、新しいものを発注中です。
ランプは点灯しませんが、DPは正常に稼働します。
DPのON/OFFランプ交換しました。2016/09/16
316室蒸着装置、使用停止のお知らせ
316室の蒸着装置ですが、トラブルが発生したため現在使用出来ません。 トラブル内容は、操作ミスによる拡散ポンプのオイルの劣化です。
メンテナンスとして、拡散ポンプオイルとロータリーポンプオイルの交換を行いました。 しかし、チャンバーの真空度が２×１０-3[Pa]以下にならない状況でした。
これに対応するため、先日(7/27)拡散ポンプ内の洗浄作業（オイル焦げ付きの研磨）を行いました。 現在(7/28)、このメンテナンス作業の結果を見るために、真空引き中です。
現在蒸着装置が使用不能のため、皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、鋭意作業中ですのでご容赦願います。
描画装置利用者の皆様へ
描画装置メンテナンスによる使用停止のお知らせ(完了しました7/19）
電子描画装置のメンテナンス作業を下記のように行います。
作業時間中は、電子描画装置は利用出来ません。 皆様には、ご迷惑をおかけ致しますが、ご容赦願います。
不明な点は、水野までお問い合わせ願います。
よろしくお願い致します。
記
作業期日：平成28年7月１９日（火）
停止時間：11:00～17:00
作業内容：試料交換棒・ イオンポンプ制御装置のメンテナンス
作業者：電子描画装置製造社の技術者
以上
アライナ利用者の皆様
アライナ復旧のお知らせ
アライナのメンテナンス作業を6月30日（木）午前中に行いました。 これにより、アライナで不具合が発生していた、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が復旧しました。 これにより、マスクとサンプルのアライメント操作が行えるように復旧しました。 
不具合の原因としては、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構を構成しているネジが外れたため、「マスクとサンプルの間に、微少なギャップを作る」機構が機能していない状態でした。
上記で不明な点は、水野までお問い合わせ願います。 よろしくお願い致します。
本日クリーンルーム利用者説明会を開催しました。
新しくクリーンルームの利用を予定している方、検討している方だけでなく、すでに利用しているけど改めて説明を聞きに来てくださった方もいらっしゃったようです。
20名ほどの方々にお集まりいただき、無事に説明会を終了いたしました。
私の拙い説明にお付き合いいただき、ありがとうございました！
本日説明会で配布した資料はこちら→ クリーンルーム説明会(H28)資料
今後も利用者説明会は随時行っていく予定ですので、よろしくお願いします。
たくさんの方に快適なクリーンルームを使っていただけるよう、頑張っていきます！
CR利用者の皆様へ
FE-SEMメンテナンス完了しました(H28年7月26日）
6月20日の午後に、FE-SEM電子銃室の真空表示値が低下した原因調査を行いました。 原因調査の結果、電子銃室のイオンポンプのUPS（無停電電源装置）により、電子銃室の真空表示値が低下している事がわかりました。
なお、電子銃室の真空値は正常でしたが、UPS（無停電電源装置）は修理が必要でした。
下記のような工程で、作業を行い修理を完了しました。
皆様にはご迷惑をおかけ致しましたが、ご協力有り難うございました。
記
作業工程
１ UPS（無停電電源装置）の代替機の確保
２ 現在の故障UPSと代替UPSとの交換 完了
３ 故障UPSをメーカーにて修理 完了
４ 修理完了UPSと代替UPSとの交換調整 完了
注：２と４の作業ではFE-SEMを停止して、メーカー技術者が半日程度の作業を行いました。
以上
平成28年6月2日
理工系研究室の皆様へ
クリーンルーム利用説明会のご案内
電子工学研究所
クリーンルーム
水野・清水 内線1335
電子工学研究所のクリーンルームは、広く皆様に利用していただくことが出来る施設で、昨年度は30研究室の利用が有りました。
この度、クリーンルームの利用方法について、説明会を開催します。説明会の内容は、クリーンルームに設置されている装置の説明と、各装置でどのような事が出来るかなどです。また、現在のクリーンルームの使用状況・使用方法を説明します。
今までクリーンルームを使ったことのない方でも、研究に利用出来る装置が有るかもしれません。興味のある方は是非ご参加下さい。
記
日時 ： 平成28年6月23日（木）14：30～15：30
会場 ： 電子工学研究所 ２Ｆ 会議室
内容 ： クリーンルーム装置と利用方法
定員 ： 30名程度（会議室に座れる人数）
参加申込み締切日：平成28年6月16日（木）
参加者希望者は全員参加していただきたいのですが、会場が30名までしか入れないため、定員が有ります。希望者多数の場合には、時間を区分するか、研究室毎に人数制限を行います。
説明会参加希望者は、研究室単位で下記に必要事項を記入し、清水までメール送付をお願いいたします。
（清水E-mail：shimizu.hikaru（アットマーク）shizuoka.ac.jp)
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説明会参加申込
代表者名（ ） 職名・学年（ ）
学部（ ）学科（ ）研究室（ ）
連絡先内線番号（ ）
代表申込者E-mail（ ）
参加希望人数（ ）
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