平成29年2月10日

クリーンルーム利用者の皆様へ

クリーンルーム管理室
水野・清水

断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ

　　施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。　このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。　皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。　なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。

記

日　　時：平成29年3月25日(土)　9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）

以上

日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。