電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2019年3月4日（月）～ 3月15日(金)
目的 ：電子銃の交換
レーザー干渉計の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 4, 2019-Friday, March 15
The purpose : Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer