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  • 汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

    トラブル：ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

    対応：装置の洗浄及びオイル交換

    追記：10月9日　装置のメンテナンスが終了しました

    　

  • Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

    Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

    Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

    P.S.　10/9 　Maintenance work finished.