ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

コイル電源の交換作業のため、下記の期間利用を停止いたします。

停止期間：3/1 8:00 – 3/2 17:00

Stop using ECR

We will stop using ECR during the following periods for replace coil power supply

Date: Monday, March 1, 8:00 ~ Tuesday, March 2, 17:00