電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

期日　：2021年3月1日（月）～　3月12日(金)

目的　：電子銃の交換

Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

A fixed date　:　 Monday, March 1, 2021-Friday, March 12

The purpose　:　 Exchange of an electron gun