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  • 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日　：2021年3月1日（月）～　3月12日(金)

    目的　：電子銃の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date　:　 Monday, March 1, 2021-Friday, March 12

    The purpose　:　 Exchange of an electron gun