汎用真空蒸着装置使用再開のおしらせ
拡散ポンプの洗浄及びオイル交換の実行。
真空引きが行えることを確認しました。汎用真空蒸着装置の利用を再開します。
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)restoration
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)has been repaired.
Reserch Institute of Electronics Clean Room
汎用真空蒸着装置使用再開のおしらせ
拡散ポンプの洗浄及びオイル交換の実行。
真空引きが行えることを確認しました。
汎用真空蒸着装置の利用を再開します。
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)restoration
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)has been repaired.