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  • 電子線描画装置使用再開のお知らせ

    冷却装置の代替機との交換が終了しました。
    立ち上げた電子銃が安定した明日17:00以降に使用を再開します。

  • Electron Beam Lithography System　restoration

    Replacement of the cooling system with an alternative unit has been completed.
    We will resume use after 5:00 p.m. tomorrow, when the electron gun has stabilized.