ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
真空測定部品の不調のため、利用を停止させていただきます。
停止期間:未定
Stop using ECR
Trouble details: vacuum measurement malfunction
Date: undecided
Reserch Institute of Electronics Clean Room
ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
真空測定部品の不調のため、利用を停止させていただきます。
停止期間:未定
Stop using ECR
Trouble details: vacuum measurement malfunction
Date: undecided