ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ
真空測定部品の復旧が終わりました。
利用を再開いたします。今回の復旧は暫定的な処置になります。
後日修理作業が入る際は別途お知らせいたします。ECR restoration(temporary)
This is only a temporary measure.
We will notify you separately when the repair work will be done at a later date.
Reserch Institute of Electronics Clean Room
ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ
真空測定部品の復旧が終わりました。
利用を再開いたします。
今回の復旧は暫定的な処置になります。
後日修理作業が入る際は別途お知らせいたします。
ECR restoration(temporary)
This is only a temporary measure.
We will notify you separately when the repair work will be done at a later date.