• ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ

    真空測定部品の復旧が終わりました。
    利用を再開いたします。

    今回の復旧は暫定的な処置になります。
    後日修理作業が入る際は別途お知らせいたします。

  • ECR restoration(temporary)

    This is only a temporary measure.
    We will notify you separately when the repair work will be done at a later date.