ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

Siターゲット交換及び内部機器洗浄作業のため、
ECRスパッタ装置の利用を停止いたします。

停止期間：6/7(火)-6/15(水)終日

(6/7)追記：内部の状況を鑑みて利用を停止させていただきます。

Stop using ECR

Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
ECR sputtering equipment will not be available.

A fixed date　:　 Tuesday, June 7 ～　Wednesday, June 15