ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

ECRスパッタ装置内部の状態を鑑みて、
装置の利用を停止いたします。

停止期間：6/30(木)-7/8(金)

7/4(月)以降に内部機器の洗浄を予定しております。
装置が復旧次第利用再開する見込みです。

7/12(火)追記：内部真空度が安定しないため利用停止期間を延長します。
　　　　　 利用再開の際には再度ご連絡いたします。

停止期間：6/30(木)-7/14(木)予定

7/15(金)追記：改善が見られないため停止期間を未定とさせていただきます。
　　　　　 復旧の際にはご連絡いたします。

停止期間：6/30(木)- 未定

Stop using ECR

Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
ECR sputtering equipment will not be available.

A fixed date　:　 Tuesday, June 30 ～　Friday, July 8