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  • エリプソメーター利用再開のおしらせ

    エリプソメーターの復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    原因：受光部内部の回転検光子伝達ベルトの破断
    対応：上記の部品交換

  • ellipsometer　restoration

    The restoration of the ellipsometer has been completed.
    Use of the system will be resumed.