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エリプソメーター利用再開のおしらせ

エリプソメーターの復旧が終了しました。
利用を再開いたします。

原因:受光部内部の回転検光子伝達ベルトの破断
対応:上記の部品交換

ellipsometer restoration

The restoration of the ellipsometer has been completed.
Use of the system will be resumed.