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  • ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

    Siターゲット交換及び内部機器洗浄作業のため、
    ECRスパッタ装置の利用を停止いたします。

    停止期間：6/7(火)-6/15(水)終日

    (6/7)追記：内部の状況を鑑みて利用を停止させていただきます。

  • Stop using ECR

    Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
    ECR sputtering equipment will not be available.

    A fixed date　:　 Tuesday, June 7 ～　Wednesday, June 15