電子描画装置使用停止(7月24日16:00-利用再開)

  • 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル:昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

    対応:電子ビームの再立ち上げを実行
    停止期間:7月24日16:00まで

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

    Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
    Stop period: 7/23 ~16:00.

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止(7月23日利用再開)

  • 走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のお知らせ

    トラブル:試料ステージエラーにより観察が行えない。

    対応:メーカへ点検作業を依頼
    停止期間:7月23日再開予定

    追記:7月23日使用再開しました。

  • Stop using SEM(7/23 Resume use) 

    Troubling:Observation can not be performed due to sample stage error.

    Corresponding: Ask the manufacturer to inspection work.
    Stop period: It’s being investigated.

電気炉A使用停止(※8月2日利用再開)

  • 電気炉A使用停止のお知らせ

    トラブル:電磁弁の不具合により窒素が流れない。

    対応:メーカへ部品交換を依頼
    停止期間:8月2日部品交換作業

    追記:(8/2)修理作業が終わりました。
          利用を再開しました。  

  • Stop using Precision Diffusion Furnace A

    Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure .

    Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
    Stop period: It’s being investigated.

    Postscript:Repair work is over(8/2)

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり)

  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 (3/20(水)復旧 追記あり)

    トラブル:デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
    原因:DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
    対応:メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間:調査中

    3/20(水)

    復旧終了しました

    操作方法は使用停止前と同じになります。

  • Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery  add postscript)

    Troubling:It can’t be microscopic observation.

    Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.

    3/13(wed) Postscript

    Provisional recovery finished.

    Please note that there is a change in the operation method.

超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.


  • 超純水装置利用を再開しました

    事象:1月22日(火)10時~15時の期間、利用出来ませんでした
    トラブル内容:純水装置の圧力センサー異常
    解決方法:圧力センサー交換


  • Use of ultra pure water equipment was resumed

    A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
    The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
    Solution method: Pressure sensor exchange

局所排気装置点検のお知らせ 11月14日(水) 予備日11月16日(金)

クリーンルーム内の局所排気装置を点検します。

日時:11月14日(水)09:00~12:00となります。

雨天の場合は、11月16日(金) 09:00~12:00となります。

点検装置:下記装置が使用出来ません

現像用ドラフト・スピンコーター・ホットプレート・電気炉(A~D)

よろしくお願いいたします。

 

薬品管理システム保守点検 10/3 13:30~14:30

光創起棟の薬品管理システム保守点検日は、10月3日(水)13:30~14:30の予定です。

上記の時間を割けて、薬品を取り出して下さい。

よろしくお願いいたします。 クリーンルーム管理室

 

平成30年9月21日
薬品管理システム利用者 各位
安全衛生センター

薬品管理システム保守点検について(通知)

日頃、薬品管理システムのご利用ありがとうございます。
連絡が遅くなり大変申し訳ございませんが、本システムの維持管理のため
平成30年度薬品管理システムの保守点検を下記の日程で実施いたします。
当日は業者が各薬品管理室にて保守点検作業(約1時間)を行ないます
ので、ご協力方よろしくお願いいたします。
端末保守作業中は一時間程度、利用できませんので行程表を参考に調整
いただければ幸いです。
点検時間は保守作業により若干前後することがありますがご了承下さい。

※端末に関しては、点検時のみ一時的に停止する時間が発生します。
サーバーは原則として停止しませんが、バックアップ作成時のみ一時的に
停止する場合がありますのでご了承願います。