工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ(9/25 8:30-15:00)

  • 工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ

    pH警報盤及び回転灯の取付け工事のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:9月25日(金) 8:30~15:00

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for the installation of a pH alarm panel and revolving light.

    Date :  Friday, Sep 25, 8:30 ~15:00

クリーンルーム利用停止のお知らせ(8/28 12:00-9/8 12:00)※9/8追記


  • 8月29日(土)と30日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・28日12時~ :クリーンルーム装置利用停止
    ・29日~30日   :停電日
    ・31日~9月1日  :空調保守点検
    ・31日~9月2日 :冷却水設備点検
    ・9月2日~4日   :特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月8日12時   :クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月8日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月10日(木)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

    9/8追記:描画装置の利用は9/9(水)の8時より再開いたします。


  • On August 29th (Sat) and 30th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・27 From 12 o’clock Device use suspension
    · 28 – 29th: Simultaneous blackout
    · 31 – Sep 1st: Air conditioning maintenance inspection
    · 31 – Sep 2rd: Cooling water Equipment Inspection
    · Sep 2nd – 4th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep 8th From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 8.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 10.
    We will inform you again when there is an update of information.

    9/8 NOte: EB Lithography System will resume at 8:00 a.m. on Wednesday, September 9.

クリーンルーム利用停止のお知らせ(7/17 9:00-12:00)

  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    圧縮空気の供給設備定期点検作業のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:7月17日(水) 9:00~12:00頃

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for inspection of nitrogen gas and compressed air equipment.

    Date :  Friday, July 17, 9:00 ~12:00

クリーンルーム利用停止のお知らせ(3/25)

  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    業者による窒素ガスと圧縮空気の供給設備点検作業のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:3月25日(水) 9:00~17:00頃

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for inspection of nitrogen gas and compressed air equipment.

    Date :  Wednesday, March 25, 9:00 ~17:00

共用部清掃によるクリーンルーム立入禁止のお知らせ(3/7)

  • 共用部清掃によるクリーンルーム立入禁止のお知らせ

    業者による共用部(廊下)のワックスがけのため、
    下記の日程でクリーンルームの立ち入りを禁止させていただきます。

    立入禁止期間:3月7日(土) 8:30~13:00

  • Notice of no entry Clean Room for cleaning

    For waxing corridor in iPERC,
    Prohibit entry clean room during the following period.

    Date :  Saturday, March 7, 8:30 ~13:00

ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ(3/2-3/3)

  • ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ

    ECRスパッタ装置部品交換作業のため、
    下記の期間使用を停止させていただきます。

    期間 :2020年3月2日(月)~ 3月3日(火)

  • Stop using Solid Source ECR Plasma Deposition System

    ECR be stopped for scrubber device parts replacement.

    A fixed date :  Monday,March 2 ~ Tuesday,March 3

デジタルマイクロスコープ使用停止のお知らせ(復旧未定)

  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のお知らせ

    トラブル:PCの不調のためOSが立ち上がらない

    対応:メーカへ部品交換の見積を依頼
    停止期間:未定

  • Stop using Digital Microscope(DSX500) 

    Troubling:PC failure.

    Corresponding: Request a manufacturer for a replacement quote.
    Stop period: Undecided.