汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ（10月9日利用再開)

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  • 汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

    トラブル：ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

    対応：装置の洗浄及びオイル交換

    追記：10月9日　装置のメンテナンスが終了しました

    　

  • Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

    Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

    Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

    P.S.　10/9 　Maintenance work finished.

電子描画装置使用停止(7月24日16:00-利用再開)

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  • 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル：昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

    対応：電子ビームの再立ち上げを実行
    停止期間：7月24日16:00まで

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

    Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
    Stop period: 7/23 ～16:00.

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止(7月23日利用再開)

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  • 走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のお知らせ

    トラブル：試料ステージエラーにより観察が行えない。

    対応：メーカへ点検作業を依頼
    停止期間：7月23日再開予定

    追記：7月23日使用再開しました。

  • Stop using SEM(7/23 Resume use)　

    Troubling:Observation can not be performed due to sample stage error.

    Corresponding: Ask the manufacturer to inspection work.
    Stop period: It’s being investigated.

電気炉A使用停止(※8月2日利用再開)

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  • 電気炉A使用停止のお知らせ

    トラブル：電磁弁の不具合により窒素が流れない。

    対応：メーカへ部品交換を依頼
    停止期間：8月2日部品交換作業

    追記：(8/2)修理作業が終わりました。
    　　　　　 利用を再開しました。　　

  • Stop using Precision Diffusion Furnace　A

    Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure　.

    Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
    Stop period: It’s being investigated.

    Postscript：Repair work is over(8/2)

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり）

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  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 （3/20（水）復旧　追記あり）

    トラブル：デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
    原因：DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
    対応：メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間：調査中

    3/20(水)

    復旧終了しました

    操作方法は使用停止前と同じになります。

  • Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery 　add postscript)

    Troubling:It can’t be microscopic observation.

    Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.

    3/13(wed) Postscript

    Provisional recovery finished.

    Please note that there is a change in the operation method.

超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

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  • 超純水装置利用を再開しました

    事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
    トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
    解決方法：圧力センサー交換

  • Use of ultra pure water equipment was resumed

    A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
    The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
    Solution method: Pressure sensor exchange

局所排気装置点検のお知らせ　11月14日(水）　予備日11月16日(金)

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クリーンルーム内の局所排気装置を点検します。

日時：11月14日(水）09:00～12：00となります。

雨天の場合は、11月16日(金)　09:00～12:00となります。

点検装置：下記装置が使用出来ません

現像用ドラフト・スピンコーター・ホットプレート・電気炉（A～D）

よろしくお願いいたします。