【日程変更】超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/27)
超純水製造装置のメンテナンス作業を行うため、
下記の日程で超純水の利用を停止いたします。
(追記:3/19(水)日程が変更になりました。)停止期間：3月27日（木）9:00-18:00
Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(3/27)
To carry out maintenance work on pure water production equipment,
the use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.
(PS:(3/19) The dates have been changed.)Date: Thursday, March 27 9:00-18:00
マスクアライナ利用停止のお知らせ(3/19(水))
マスクアライナ利用停止のおしらせ(3/19)
マスクアライナシャッターアセンブリ交換作業のため、
下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。停止期間：3月19日(水)13:00-18:00
Stop using Mask Aligner(3/19)
Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.
Date: Wednesday, March 19 13:00-18:00
超純水精製装置利用停止のお知らせ(2/19-2/20)
超純水精製装置利用停止のお知らせ(2/19-2/20)
純水製造装置の装置更新作業を行うため、
下記の日程で超純水の利用を停止いたします。停止期間：2月19日(水)-2月20日(木)
※作業終了次第利用を再開いたします
Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(2/19-2/20)
To upgrade pure water production equipment,
The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.Date: Wednesday, Feb 19 – Thursday, Feb 20
*We will resume use as soon as the work is completed.
電子線描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00- 12/25)
電子描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00~ 12/25)
レーザーヘッド(XY測長用)交換作業を実施するため、
下記の日時で電子線描画装置の利用を停止いたします。停止期間：12月24日(火)11:00-10月25日(水)
Stop using Electron Beam Lithography System(12/24 11:00- 12/25)
Due to maintenance work, Electron Beam Lithography System will be unavailable on the following dates and times.
Date: Tuesday, December 24 11:00~ Wednesday, December 25
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ(12/26(木)9:00-1/7(火)9:00)
年末年始、CR使用停止のお知らせ
年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
CRの使用を停止させていただきます。停止期間：12月26日(木)9:00~1月7日(火)9:00
Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.
We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.
Date: Thursday,Dec 26, 9:00 ~ Tuesday, Jan 7, 9:00
走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のお知らせ(12/2(月)13:00-19:00)
走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のおしらせ(10/22-10/24)
高電圧印加用マイクロスイッチ修理のため、
下記の日時で走査型顕微鏡(SEM)の利用を停止いたします。停止期間：12月2日(月)13:00-19:00
Stop using Scanning Electron Microscope(12/2)
Due to maintenance work, the Scanning Electron Microscope will be unavailable on the following dates and times.
Date: Monday, December 2 13:00-19:00
マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木))
マスクアライナ利用停止のおしらせ(10/22-10/24)
マスクアライナZ軸メンテナンス作業のため、
下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。停止期間：10月22日(火)-10月24(木)
※作業内容によって利用再開が早まる場合があります。Stop using Mask Aligner(10/22-10/24)
Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.
Date: Tuesday, October 22~ Thursday, October 24
電子線描画装置利用再開のお知らせ
電子線描画装置利用再開のおしらせ
電子線描画装置の復旧が終了しました。
利用を再開いたします。大変長らくお待たせしてしまい申し訳ございません。
どうぞご了承いただけますようお願い申し上げます。electron Beam Lithography System restoration
The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
Use of the system will be resumed.
夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00)
- 夏季一斉休業に伴い、光創起棟クリーンルーム空調が停止されます。
つきましては下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。【停止期間】
・8月9日(金)12時～8月19日(月)12時
- Clean room air-conditioning will be stopped due to the summer holiday.
Therefore, the clean room will be closed during the following period.Period of shutdown
August 9 (Fri.) 12:00 – August 19 (Mon.) 12:00
電子描画装置利用停止のお知らせ(利用再開未定）※9/25(水)追記
電子描画装置利用停止のお知らせ
トラブル内容：電子銃の加速電圧が立ち上がらない
対応：メーカーと対応中
停止期間：未定7/10(水)追記：7/18(木)メーカーの点検作業予定
7/25(木)追記：原因が高圧タンクの故障と判断
引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中9/25(水)追記：9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
作業後、動作に問題なければ利用再開となりますStop using Electron Beam Lithography System
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided