ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ(仮復旧)

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  • ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ

    真空測定部品の復旧が終わりました。
    利用を再開いたします。

    今回の復旧は暫定的な処置になります。
    後日修理作業が入る際は別途お知らせいたします。

  • ECR　restoration(temporary)

    This is only a temporary measure.
    We will notify you separately when the repair work will be done at a later date.

抵抗測定器使用停止のお知らせ(11/9追記)

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  • 抵抗率測定器使用停止のおしらせ

    トラブル：測定架台の高さ調整ネジが正常に動作しない

    対応：メーカーへの修理依頼
    停止期間：未定

    (11/9追記)測定架台の修理依頼を発注しました。
    　　　　　納期目安は10日程度になります。

  • Stop using Resistivity Measuring Instrument

    trouble:The height adjustment screw of the measurement stand does not work properly.

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer.
    Stop period: undecided.

汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ(10/20)

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  • 汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ

    メインバルブリークについて、復旧が終了しました。
    それに関連してメインバルブ操作方法を変更しました。
    詳細は下記のページの8.サンプルのとりだし⓵を確認してください。

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf　　　　　　　　

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) restoration and partial change of operation procedure

    The main valve leak has been fixed.
    The main valve operation method has been changed to reflect this.
    Please refer to the following page for details: 8.

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf　

電子線描画装置利用者へのお知らせ(空調機の停止)

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  • 電子線描画装置利用者へのお知らせ

    漏水センサー異常により電子線描画装置用の空調機が作動できないトラブルが発生しています。
    ブースのカーテンは開放のままでお願いします。

    それにより通常±0.1℃単位の温度管理が停止いたします。
    利用の際はご留意いただきますようお願いいたします。

    空調機復旧の見通しは未定となります。

  • Notice to Users of Electron Beam Lithography System

    There is a problem that the air conditioner for the electron beam lithography system cannot be operated due to an abnormal leak sensor.
    Please leave the curtains of the booth open.

    So that the normal temperature control of ±0.1°C will be stopped.
    We ask that you keep this in mind when using the booths.

    The outlook for the restoration of the air conditioning system is yet to be determined.

電子線描画装置使用停止のお知らせ(8/23)

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  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    冷却チラーの交換を行うため、
    電子線描画装置の利用を停止させていただきます。

    停止期間：8月23日(月) 9:00～8月24日(火)12:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Stop using Electron Beam Lithography System　for cooling chiller replacement.

    Date　:　 Monday, Aug 23, 9:00 ～Tuesday, Aug 24 12:00

汎用真空蒸着装置一時利用再開のお知らせ(要事前連絡 8/18追記)

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  • 汎用真空蒸着装置一時使用再開のおしらせ

    メインバルブリークの件は引き続きメーカーと対応中ですが、
    操作方法を変更して利用を再開いたします。

    利用を希望される方は必ずクリーンルーム管理室まで連絡をお願いいたします。

    8/17追記：膜厚計が操作できない不具合が発生しています。
    　　　　　現在メーカーへ対応中です。

    8/18追記：膜厚計の不具合は解消いたしました。
    　　　　　　　　

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)　preliminary restoration

    We’re still working with the manufacturer on the main valve leak.
    However, we have changed the operation method and will resume use.

    If you wish to use the device, please contact the Clean Room Management Office.

    8/17 P.S. There is a problem with the coating thickness gauge.