クリーンルーム利用停止のお知らせ(8/27-9/7)

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  • 8月28日(土)と29日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・27日12時~ ：クリーンルーム装置利用停止
    ・28日29日　　　：停電日
    ・30日~31日　　：空調保守点検
    ・9月1日~9月3日 ：冷却水設備点検
    ・9月1日~3日　　 ：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月7日12時　　 ：クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月7日（火）12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月8日(水)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On August 28th (Sat) and 29th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・27　From 12 o’clock　Device use suspension
    · 28 – 29th: Simultaneous blackout
    · 30 – 31: Air conditioning maintenance inspection
    · sep 1st – Sep 3rd: Cooling water Equipment Inspection
    · Sep 1st – 3rd: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep　7th　From 12 o’clock　Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 7.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 8.
    We will inform you again when there is an update of information.

一部装置使用停止のお知らせ(7/20)

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  • 一部装置利用停止のお知らせ

    エアーコンプレッサー機修理作業のため、
    下記の日程で圧縮空気の供給が停止されます。
    そのため圧縮空気を利用する装置は下記の時間利用できません。

    停止期間：7月20日(火)9:00~17:00

  • Stop using some instruments for air compressor construction

    Stop using some instruments for air compressor construction

    Compressed air supply stops for air compressor construction.
    So stop using some instruments.

    Date: Tuesday, July 20, 9:00 ~17:00

電子線描画装置使用再開のお知らせ(6/26 17:00-)

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  • 電子線描画装置使用再開のお知らせ

    冷却装置の代替機との交換が終了しました。
    立ち上げた電子銃が安定した明日17:00以降に使用を再開します。

  • Electron Beam Lithography System　restoration

    Replacement of the cooling system with an alternative unit has been completed.
    We will resume use after 5:00 p.m. tomorrow, when the electron gun has stabilized.

電子線描画装置使用停止のお知らせ(6/17-)※6/22追記

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  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    トラブル：冷却装置の異常及び真空度の低下

    対応：メーカーに問い合わせ中
    停止期間：未定

    6/22追記：冷却装置の交換作業を検討しております。
    　　　　　先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Cooling system malfunction and　decrease in vacuum
    Stop period: undecided

イエロールーム利用停止のお知らせ(5/14)

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  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    イエロールーム空調機部品交換作業のため、
    下記の日程でイエロールームの利用を停止させていただきます。

    停止期間：5月14日(金) 9:00～17:00

  • Notice of no entry Lithography Room for air conditioner construction

    Stop using lithography room equipment
    for air conditioner construction.

    Date　:　 Friday, May 14, 9:00 ～17:00