電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2021年3月1日（月）～ 3月12日(金)
目的 ：電子銃の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 1, 2021-Friday, March 12
The purpose : Exchange of an electron gun
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(3/1 8:00- 3/2 17:00)
ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
コイル電源の交換作業のため、下記の期間利用を停止いたします。
停止期間：3/1 8:00 – 3/2 17:00
Stop using ECR
We will stop using ECR during the following periods for replace coil power supply
Date: Monday, March 1, 8:00 ~ Tuesday, March 2, 17:00
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)復旧のお知らせ
デジタルマイクロスコープ(DSX500)復旧のおしらせ
点検に出していたデジタルマイクロスコープが返却されました。
使用を再開いたします。Digital Microscope restoration
Digital Microscope has been repaired.
Resume use.
クリーンルーム利用停止のお知らせ(2/19)
クリーンルーム利用停止のお知らせ
空気圧縮機交換作業のため、
下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。停止期間：2月19日(金) 9:00～17:00
Notice of no entry Clean Room for air compressor construction
Stop using clean room equipment
for air compressor construction.Date : Friday, February 19, 9:00 ～17:00
マスクアライナ復旧のお知らせ
マスクアライナ復旧のおしらせ
本日マスクアライナの修理が終わりました。
使用を再開いたします。Mask Aligner restoration
Mask Aligner has been repaired..
マスクアライナ使用停止のお知らせ
マスクアライナ使用停止のおしらせ
トラブル：WECダイアルが機能せず、WEC-settingが行えない。
対応：メーカーへの点検依頼
停止期間：未定Stop using Mask Aligner
Corresponding: Cannot adjust WEC-setting.
Stop period: Undecided
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)使用停止のお知らせ※1/14追記(1/19 10:00～)
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ
トラブル：暗視野観察(DF)が行えない
対応：メーカーへの点検依頼
停止期間：1/19 9:00～未定追記(1/14)：停止期間を変更しました。1/18 12:00 → 1/19 9:00
Stop using Digital Microscope
Corresponding: Cannot observe in dark field.
Stop period: January 19th 9:00~Undecided.
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ
年末年始、CR使用停止のお知らせ
年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
CRの使用を停止させていただきます。停止期間：12月25日(金)12:00~1月5日(火)13:30
電子描画装置については
1月6日(水)12:00からの利用を再開します。Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.
We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.
Date: Friday,Dec 25, 12:00 ~ Tuesday, Jan 5, 13:30
About Electron Beam Lithography System,
you can use that from Wednesday, Jan 6, 12:00
卓上型ランプ加熱装置利用開始のお知らせ
卓上型ランプ加熱装置利用開始のお知らせ
昨年度設置工事が行われた卓上型ランプ加熱装置の利用を開始いたします。
使用記録簿及び機器予約に関しては他装置と同様です。装置の詳細は下記をご参照ください。
装置の利用説明についてはMoraru研究室までお問い合わせをお願いいたします。
Notice of Desktop Lamp Annealing Availability
We will start using Desktop Lamp Annealing that was installed last year.
The usage logs and reservations are the same as for other devices.For more information about the equipment, please see the following
Please contact the Moraru laboratory for an explanation of the use of the equipment.
電子線描画装置、ドラフト、超純水精製装置使用停止のお知らせ(11/11追記あり)
電子線描画装置、ドラフト使用停止のお知らせ
手元開閉器(ブレイカー)取替工事のため、
下記の日程で装置の使用を停止させていただきます。当日は工事の影響で粉塵が発生する可能性があります。
予めご了承ください。・電子線描画装置 11月11日(水) 9:00 ～ 11月12日(木) 15:00
酸ドラフト
・アルカリドラフト 11月11日(水) 9:00 ～ 15:00
超純水精製装置追記(11/11) 工事が終了しました。
ドラフト、超純水は午後から利用できます。
電子線描画装置は11月12(木)10:00から利用可能になります。
Stop using EB Lithography System, Fume Hood(Acid, Alkali), Ultrapure Water Production System
Stop using the above equipment
for the replacement work of available electrical switch (circuit breaker).There is a possibility that dust may be generated on the day of the event due to construction.
I appreciate your understanding.Date : EB Lithography System Wednesday, November 11, 9:00 ～ Thursday, November 12 15:00
Fume Hood(Acid, Alkali) Wednesday, November 11, 9:00 ～ 15:00
Ultrapure Water Production System