クリーンルーム利用停止のお知らせ
イエロールーム空調機部品交換作業のため、
下記の日程でイエロールームの利用を停止させていただきます。停止期間：5月14日(金) 9:00～17:00
Notice of no entry Lithography Room for air conditioner construction
Stop using lithography room equipment
for air conditioner construction.Date : Friday, May 14, 9:00 ～17:00
電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
電子線描画装置のメンテナンス作業が終了しました。
本日より利用を再開いたします。End of Electron Beam Lithography System maintenance
Electron Beam Lithography System maintenance is finished.
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ
コイル電源の交換作業が終了しました。
利用を再開いたします。ECR restoration
ECR has been repaired.
電子線描画装置メンテナンスのお知らせ(3/1-3/12)
電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2021年3月1日（月）～ 3月12日(金)
目的 ：電子銃の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 1, 2021-Friday, March 12
The purpose : Exchange of an electron gun
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(3/1 8:00- 3/2 17:00)
ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
コイル電源の交換作業のため、下記の期間利用を停止いたします。
停止期間：3/1 8:00 – 3/2 17:00
Stop using ECR
We will stop using ECR during the following periods for replace coil power supply
Date: Monday, March 1, 8:00 ~ Tuesday, March 2, 17:00
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)復旧のお知らせ
デジタルマイクロスコープ(DSX500)復旧のおしらせ
点検に出していたデジタルマイクロスコープが返却されました。
使用を再開いたします。Digital Microscope restoration
Digital Microscope has been repaired.
Resume use.
クリーンルーム利用停止のお知らせ(2/19)
クリーンルーム利用停止のお知らせ
空気圧縮機交換作業のため、
下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。停止期間：2月19日(金) 9:00～17:00
Notice of no entry Clean Room for air compressor construction
Stop using clean room equipment
for air compressor construction.Date : Friday, February 19, 9:00 ～17:00
マスクアライナ復旧のお知らせ
マスクアライナ復旧のおしらせ
本日マスクアライナの修理が終わりました。
使用を再開いたします。Mask Aligner restoration
Mask Aligner has been repaired..
マスクアライナ使用停止のお知らせ
マスクアライナ使用停止のおしらせ
トラブル：WECダイアルが機能せず、WEC-settingが行えない。
対応：メーカーへの点検依頼
停止期間：未定Stop using Mask Aligner
Corresponding: Cannot adjust WEC-setting.
Stop period: Undecided
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)使用停止のお知らせ※1/14追記(1/19 10:00～)
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ
トラブル：暗視野観察(DF)が行えない
対応：メーカーへの点検依頼
停止期間：1/19 9:00～未定追記(1/14)：停止期間を変更しました。1/18 12:00 → 1/19 9:00
Stop using Digital Microscope
Corresponding: Cannot observe in dark field.
Stop period: January 19th 9:00~Undecided.