Reserch Institute of Electronics Clean Room
平成29年3月8日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
超純水使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
超純水の定期メンテナンスを行います。 定期メンテナンス作業中は、電研クリーンルームで超純水は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点はクリーンルーム管理室に、お問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月13日(月) 9：00～13：30（4時間程度）
停止装置：超純水装置（UVランプ交換 UFフィルタ交換 調整作業）
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
平成29年2月16日(木)
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
水野・清水
静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします
静岡大学では、２月25日（土）と3月12日（日）に、前期と後期の入学試験が有ります。
これに伴い、電子工学研究所クリーンルーム（314室・316室）の装置は使用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願いいたします。
なお、不明な点は、クリーンルーム管理室までお問い合わせ願います。
よろしくお願いいたします。
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電研棟では共通窒素ガス配管の定期点検のため、2月27日（月）～3月1日（水）の期間、共通窒素ガス配管からの窒素ガスが利用できません。 このため電研クリーンルームで、共通窒素ガスを利用している下記の装置は装置利用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。関係する装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月27日(月) ～ 3月1日(水)
２ 停止装置： 314室（FE-SEM 電気炉A・B・C・D アライナ スピンコーター エアガン）
316室（電子描画装置）
以上
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)ですが、サンプルの導入・搬出作業時に大気導入による停止が頻発しています。 ここ一週間の間に十数回の大気導入による停止が発生し、ここ数日は、ベテラン利用者も同様のトラブルを発生させています。 この状態は、操作ミスよりも装置に起因するトラブルの可能性が高いため、装置の真空ポンプ系保護のために、FE-SEMを利用停止とします。 なお、2月6日（月）～2月9日（木）に定期メンテナンスを行いますので、この定期メンテナンスで通常状態に復帰する予定です。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月3日(金) ～ 2月9日(木)
２ 内 容： FE-SEM真空ポンプ系保護のための利用停止 (2/3～2/5)
JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整 (2/6～2/9)
以上
【2/9追記】
2月9日（木）16:30 メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使用できます。
平成29年1月14日（土）～1月15日（日）は、浜松キャンパスでセンター試験が有ります。
両日とも、関係者以外立入禁止となります。
これに伴い、クリーンルームも使用停止とします。
皆様のご協力を、よろしくお願い致します。
電研クリーンルーム利用者の皆様へ
年末年始、使用停止のお知らせ
下記の期間は、静岡大学浜松キャンパスは建物閉鎖となります。
平成28年12月27日（火）17:30 ~ 平成29年1月4日(水）07:00
したがって、クリーンルーム装置利用は、12月27日16:30まででとします。
新年は、1月4日（水）から利用できますが、エアコンは8時30分から始動します。
このため午前中の室内は、寒いですがご容赦ください。
ご協力をよろしくお願いいたします。
現在ウェッジワイヤーボンダは故障により使用できません。
修理が完了し次第お知らせします。
故障日 ：12月6日(火)
故障内容：ワイヤーのボビンを回転させるためのOリングが切れました。
【修理進捗】
12/7 新しいOリングを発注しました。
12/8 新しいOリングが届きました。
12/8 新しいOリングを取り付けました。
ワイヤーはクランパーまで通してあります。
ウェッジに通してからご使用ください。
12/9 ワイヤーをウェッジまで通しました。
ウェッジワイヤーボンダは正常に使えます。
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成28年12月6日
電研クリーンルーム
水野・清水
FE-SEM定期メンテナンスによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)は、定期メンテナンスを行うため下記のように使用出来ません。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月6日(月) ～ 2月9日(木)
２ 作業内容： JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整
以上
現在316室の蒸着装置はメンテナンス中のため使用できません。
メンテナンスが終了し次第お知らせします。
よろしくお願いします。
日にち：12月5日(月)~
内容 ：真空ポンプ内オイルの交換
真空引きテスト
【12/7追記】
メンテナンス終了しました。
316室の蒸着装置は正常に使用できます。
電子工学研究所の漏水点検に伴い、以下の日程で断水が発生する可能性があります。
影響を受ける装置は「超純水製造システム」です。
日にち：12月3日(土)
時間 ：終日(9:00~17:00)
電子工学研究所には受水槽があるので、受水槽内の水が無くなるまでは断水しません。