CR利用者の皆様へ

FE-SEMメンテナンス完了しました(H28年7月26日）

6月20日の午後に、FE-SEM電子銃室の真空表示値が低下した原因調査を行いました。　原因調査の結果、電子銃室のイオンポンプのUPS（無停電電源装置）により、電子銃室の真空表示値が低下している事がわかりました。

　なお、電子銃室の真空値は正常でしたが、UPS（無停電電源装置）は修理が必要でした。

　下記のような工程で、作業を行い修理を完了しました。

　皆様にはご迷惑をおかけ致しましたが、ご協力有り難うございました。　

記

　　　　　　　　作業工程

１　UPS（無停電電源装置）の代替機の確保

２　現在の故障UPSと代替UPSとの交換　完了

３　故障UPSをメーカーにて修理　　　　完了　

４　修理完了UPSと代替UPSとの交換調整 　完了　

注：２と４の作業ではFE-SEMを停止して、メーカー技術者が半日程度の作業を行いました。

　　以上

装置のトラブル・メンテナンス状況を掲載します。