【Disabled】電研棟改修に伴う電研クリーンルーム利用停止

  • 電子工学研究所南側区域の改修に伴い、電研クリーンルームは4/1から停止します。
    装置は全て光創起イノベーション研究拠点棟1階クリーンルームに移設されます。
    現在の計画では4月中に装置を移設し、5月末までに一部の装置を除き再立ち上げを完了する予定です。
    また、移設期間中は当HPの一部を非表示にさせていただきます。
    長期間のクリーンルーム停止により皆様にはご迷惑をおかけしますが、よろしくお願い致します。
  • Due to the renovation of the southern area of the Research Institute of Electronics building, this Clean Room will be suspended from April 1st.
    All devices will be relocated to the Clean Room on the 1st floor of the Innovative Photonics Evolution Research Center building.
    We plan to relocate devices in April and complete restarting by excluding some devices by the end of May.
    In addition, we will hide some of our HP during the relocation period.
    We apologize for everyone due to a long-term clean room stop, but thank you.

【Notice】316室使用記録簿記入のお願い

  • 最近316室の装置使用記録簿への記入漏れが多いようです。
    316室は314室と違って各装置ごとに使用記録簿が設置してあります。
    装置を使ったら使用記録簿への記入を忘れずにお願いします。

    使用記録簿の情報は装置トラブル時の対処や、装置使用料金の算出に使う重要なものです。
    授業や研究で忙しい時期かと思いますが、ルールを守りみんなで気持ちよく実験室を使いましょう。

  • It seems that there are many missing entries in room 316 use register recently.
    Unlike room 314 in room 316, a use register is set up for each device.
    Do not forget to fill in the use register after using the equipment.

    The information in the use register is important for coping with troubles of the equipment and for calculating the equipment usage fee.
    We think that everyone is busy with classes and research, but let’s keep rules and use the laboratory comfortably.

【Disabled】城北キャンパス停電によるクリーンルーム停止のお知らせ

電研クリーンルーム利用者の皆様

8月26日(土)~8月27日(日)、は城北キャンパスが施設点検のため、停電となります。

このため、クリーンルームは、8月25(金)16:00~8月28日(月)13:30の期間、停止します。

皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。

 

Everybody of the clean room user

It’ll be a blackout because Johoku campus is check of facilities on Saturday, August 26-on Sunday, August 27.

Therefore I do closing of facilities of a clean room in 16:00 on 25 Friday in August.
It resumes from 13:30 on Monday, August 28.

Please cooperate.


 

【Disabled】断水による装置停止のお知らせ

電研クリーンルーム利用者の皆様

貯水槽清掃及び点検に伴う断水が有ります。

断水時には、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。

皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。

断水日時  : 平成29年9月4日(月) 9:00 ~ 12:00(3時間)

断水範囲  : 電子工学研究所、光創起イノベーション研究拠点

操作停止装置: 超純水装置、RIE(冷却水が止まります)、ドラフト(超純水が利用出来ません)

注  意  : 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。

以上


There is no water with water tank cleaning and check.

Water supply will be cut off from Sep 4th at 9 a.m. to  at 12 a.m. in the following areas.

  • Research Institute of Electronics
  • Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
  • Innovative Photonics Evolution Research Center

In the clean room, the following equipment will be suspended.

  • Ultrapure Water Production System
  • RIE (Reactive Ion Etching)
  • Draft Chamber for wet

Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.

【Notice】薬品放置時のお願い

  • 薬品放置時のお願い

    薬品を放置するときは、以下の情報を容器に書いてください。

    • 薬品名
    • 研究室名
    • 氏名

    全ての利用者が安全にクリーンルームを使用するためのルールです。
    短時間・長時間に関わらず薬品放置時は必ず守るようお願いします。


  • Rules on Leaving Chemicals

    When leaving chemicals, please write the following information in the container.

    • Chemical name
    • Your laboratory name
    • Your name

    This is a rule for all users to be able to use clean room safely.
    Please follow this rule regardless of the length of leaving time.


【Notice】研究成果の収集にご協力ください

研究成果の収集にご協力ください

電研クリーンルームを利用したことで得られた研究成果を収集しています。
論文投稿や学会発表をした際には是非こちらのフォームからご報告ください。

【研究成果報告フォーム
(ページ右下のアイコンからもフォームへ飛べます。)

収集した情報は
・ホームページへの掲載
・クリーンルーム新規利用者の獲得材料
等に利用させていただきます。
(もちろん掲載禁止などの指定もできます。)

ご協力お願い致します!

【Hydrofluoric Acid】フッ化水素酸の変更について

  • フッ化水素酸の変更について

    今まで使用してきた森田化学・半導体用フッ化水素酸50%が生産終了しました。
    今後はほぼ同等の品である弘田化学・半導体用フッ化水素酸49%を使用します。
    しばらくの間はこれらの変更による不具合等がないか注意しながら使用してください。


  • About change of hydrofluoric acid

    Hydrofluoric acid which has been conventionally used is now the production end.
    In the future we will use nearly equivalent hydrofluoric acid.
    Please use it while paying attention to possibility of troubles due to these change for a while.


【Notice】個人の物品を持ち帰ってください。

  • 新年度が始まり、クリーンルームには新しい利用者が増えます。
    初めてクリーンルームを使う人が困惑しないよう、共用の物品と個人の物品を区別しましょう。

    ***予告***
    4/10
    所有者不明のクリーン服を回収します。
    クリーン服を放置している人はいったん持ち帰ってください。
    4/17
    イエロールーム内の現像用ビーカーに「共用」ラベルを貼りつけます。
    個人のビーカー等があればはっきりと記名してください。

  • The new semester starts and the number of new users of the clean room increases.
    Let’s distinguish between shared goods and individual goods to avoid confusion of new users.

    ***NOTICE***
    4/10
    Clean wear whose owner is unknown will be collected.
    If you leave clean wear in the clean room, please take it to your lab. once.
    4/17
    Beakers for development in the yellow room will be affixed with a “Common Use” label.
    Please write your lab. name clearly if there is an individual beaker etc.

【Disabled】静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします(再掲)

平成29年2月16日(木)

クリーンルーム利用者の皆様

クリーンルーム管理室
水野・清水

静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします

 静岡大学では、2月25日(土)と3月12日(日)に、前期と後期の入学試験が有ります。
これに伴い、電子工学研究所クリーンルーム(314室・316室)の装置は使用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願いいたします。
なお、不明な点は、クリーンルーム管理室までお問い合わせ願います。
よろしくお願いいたします。