クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

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  • クリーンルーム利用説明会資料掲載のお知らせ

    6月29日(木)に行われた
    クリーンルーム利用説明会の資料を掲載いたします。

    GUIDEの「クリーンルーム利用説明会資料」をご覧ください。

  • Announcement of Clean Room user briefing session materials

    The materials for the clean room information session for user will be posted.
    Please see down below GUIDE

電子線描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00- 12/25)

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  • 電子描画装置利用停止のお知らせ(12/24 11:00~ 12/25)

    レーザーヘッド(XY測長用)交換作業を実施するため、
    下記の日時で電子線描画装置の利用を停止いたします。

    停止期間：12月24日(火)11:00-10月25日(水)

  • Stop using Electron Beam Lithography System(12/24 11:00- 12/25)

    Due to maintenance work, Electron Beam Lithography System will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Tuesday, December 24 11:00~ Wednesday, December 25

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ(12/26(木)9:00-1/7(火)9:00)

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  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月26日(木)9:00~1月7日(火)9:00

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Thursday,Dec 26, 9:00 ~ Tuesday, Jan 7, 9:00

走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のお知らせ(12/2(月)13:00-19:00)

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  • 走査型電子顕微鏡(SEM)利用停止のおしらせ(10/22-10/24)

    高電圧印加用マイクロスイッチ修理のため、
    下記の日時で走査型顕微鏡(SEM)の利用を停止いたします。

    停止期間：12月2日(月)13:00-19:00

  • Stop using Scanning Electron Microscope(12/2)

    Due to maintenance work, the Scanning Electron Microscope will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Monday, December 2 13:00-19:00

マスクアライナ利用停止のお知らせ(10/22(火)-10/24(木))

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  • マスクアライナ利用停止のおしらせ(10/22-10/24)

    マスクアライナZ軸メンテナンス作業のため、
    下記の日時でマスクアライナの利用を停止いたします。

    停止期間：10月22日(火)-10月24(木)
    ※作業内容によって利用再開が早まる場合があります。

  • Stop using Mask Aligner(10/22-10/24)

    Due to maintenance work, the mask aligner will be unavailable on the following dates and times.

    Date: Tuesday, October 22~ Thursday, October 24

電子線描画装置利用再開のお知らせ

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  • 電子線描画装置利用再開のおしらせ

    電子線描画装置の復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    大変長らくお待たせしてしまい申し訳ございません。
    どうぞご了承いただけますようお願い申し上げます。

  • electron Beam Lithography System　restoration

    The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
    Use of the system will be resumed.

夏季一斉休業に伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/9(金)12:00-8/19(月)12:00)

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  • 夏季一斉休業に伴い、光創起棟クリーンルーム空調が停止されます。
    つきましては下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    【停止期間】
    ・8月9日(金)12時～8月19日(月)12時
    　

  • Clean room air-conditioning will be stopped due to the summer holiday.
    Therefore, the clean room will be closed during the following period.

    Period of shutdown
    August 9 (Fri.) 12:00 – August 19 (Mon.) 12:00

電子描画装置利用停止のお知らせ(利用再開未定）※9/25(水)追記

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  • 電子描画装置利用停止のお知らせ

    トラブル内容：電子銃の加速電圧が立ち上がらない

    対応：メーカーと対応中
    停止期間：未定

    7/10(水)追記：7/18(木)メーカーの点検作業予定

    7/25(木)追記：原因が高圧タンクの故障と判断
    　　　　　　　引き取り修理のためタンクを郵送して対応依頼中

    9/25(水)追記：9/25(水)-9/27(金)に高圧タンク修理作業を実施
    　　　　　　　作業後、動作に問題なければ利用再開となります

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided

冷却水系統停止による一部装置利用停止のお知らせ(7/3(水)9:00-17:00)

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  • 冷却水系統の停止による一部装置利用停止のお知らせ

    6/28(金)から7/1(月)にかけて
    クリーンルーム天井からの漏水が確認されました。
    現在は応急処置を行ったため、装置の利用に問題ありません。

    原因である冷却水系統の補修工事を行うため、
    下記の日時では光創起棟の冷却水系統の供給が停止されます。
    そのため冷却水系統に接続している装置は下記の時間利用できません。

    停止期間：7月3日(水)9:00~17:00

    停止装置：卓上ランプ加熱装置、真空蒸着装置(Al専用、汎用)、フッ素RIE、ECR、恒温ブース(電子線描画装置用)
    　　　　　マグネトロンスパッタ装置

    ※電子線描画装置については恒温ブースのみが停止します
    　装置の利用には問題ありませんが、ご承知おきください。

    ご不便をおかけして申し訳ありませんが、
    ご理解いただけますようお願いいたします。

  • Stop using some instruments for Cooling water system construction

    From 6/28 (Fri.) to 7/1 (Mon.)
    Water leakage from the clean room ceiling was confirmed.
    No problem in using the equipment has been found now that emergency measures have been taken.

    To perform repair work on the cooling water system, which is the cause of the problem,
    The cooling water supply will be stopped during the following date and time to repair the cooling water system.
    Therefore, equipment connected to the cooling water system will not be available during the following time.

    Shutdown period: July 3 (Wed.) 9:00~17:00

    Suspended equipment: Desktop Lamp Annealing, vacuum deposition equipment (Al only, general purpose), Parallel Plate RIE System, ECR,
    　　　　　　　　　　　constant temperature booth (for electron beam lithography equipment),Magnetron sputtering

停電とメンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(6/21-7/1)※6/27 追記（EB装置）

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  • 6月22日(土)と23日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で利用停止となります。

    ・6月21日(金)12時～
    　クリーンルーム装置利用停止

    ・6月22日(土)～6月23日(日)
    　一斉停電（定期点検）

    ・6月24日(月)～年6月28日(金)
    　用力設備定期点検
    　※クリーンルーム空調、圧縮空気、窒素ガス発生装置、冷却水 等を保守
    　※各機器の停止期間は、１～２日を想定

    ・7月1日(月)12時～
    　クリーンルーム装置利用再開

    ※6/27(金)追記

    電子線描画装置に関して、当初の予定より立上げに日数がかかることが判明したため、
    利用再開を7月3日(水)12:00~に変更させていただきます。

    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On June 22th (Sat) and 23th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・21　From 12 o’clock　Device use suspension
    · 22 – 23th: Simultaneous blackout
    · 24 – 28th: utility equipment maintenance inspection
    ・July　1st　From 12 o’clock　Device usage resume

    We will inform you again when there is an update of information.

電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/26-3/8)

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  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。
    ご連絡が直前になり大変申し訳ありません。

    期間　：2023年2月26日(月)8:00　～　3月8日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Monday, February 20, 8:00　 ～　Friday, March 8, 17:00