- ◆10月18日（水）
316N室の蒸着装置はRP真空引き不良により使用停止となっております。
使用再開のめどがたち次第お知らせいたします。◆10月19日（木）
RPオイルとDPオイルの交換が完了しました。
これから一晩かけてDP内部の真空引きをします。
順調にDPが回復すれば明日午後には使用再開する予定です。◆10月20日（金）
真空引きテストが終了しました。
真空引き開始から30分で4.2×10-4Paまで到達しました。
蒸着装置は問題なく使用できます。※※※ おねがい ※※※
今回の装置トラブルの原因はRPオイルがDP内部まで逆流したことのようです。
装置使用後にRPを切る際はRPリークバルブを開ける操作を忘れずに行ってください。
また、「オイルを逆流させてしまった」「装置を壊してしまった」等の自覚がある方へ。
トラブルが起きたらすぐに職員まで知らせてください。
トラブルを放置されるのが一番困ります。
よろしくお願い致します。 - ◆October 18, Wednesday
Vacuum Coater in 316N room is stopped due to RP evacuation failure.
We will inform you as soon as we can resume use.◆October 19, Thursday
Oil change completed.
We will vacuum the inside of the DP overnight.
If DP recovers steadily, we plan to resume use tomorrow afternoon.◆October 20, Friday
The vacuuming test is over.
It reached 4.2 × 10 -4 Pa in 30 minutes from the start of evacuation.
Vacuum Coater can be used normally.※※※ NOTICE ※※※
This trouble seems to be caused by the RP oil flowing back to the inside of the DP.
Please do not forget to open the RP leak valve when turning off the RP after using the equipment.
In addition, to those with the awareness “I caused the equipment trouble.”
Please inform to staff as soon as the trouble occurs.
The most troubling thing for us is to hide the occurrence of trouble.
Thank you for your attention to this matter.
【Electric Furnace B】電気炉B停止中
電気炉B停止中
電気炉Bの窒素電磁弁が故障したため、電気炉Bは停止しています。
使用再開のめどがたち次第お知らせいたします。【9/7追記】
9/28に修理業者が来ます。【9/28追記】
電気炉B再開しました。Electric Furnace B is disabled
Electric furnace B is disabled because the nitrogen solenoid valve has failed.
We will inform you as soon as we can resume our use.【Add on September 7】
Repairer will come on September 28.【Add on September 28】
Electric furnace B restarted.
【SEM】SEM停止中
- 9/19 11:00
試料室への落下物を回収するため、一度真空を破りました。
試料室内の真空度が回復するまで使用禁止となります。
使用再開は9/20 9:00を予定しております。9/20 9:00
SEM使用再開しました。 - September 19, 11:00
We once broke the vacuum to recover the object that dropped into the sample chamber.
SEM is prohibited until the degree of vacuum in the sample chamber is restored.
We are planning to resume use at 9:00 on September 20.September 20, 9:00
The use resumed.
【SEM】SEM停止中
- 9/13 12:00
試料室への落下物を回収するため、一度真空を破りました。
試料室内の真空度が回復するまで使用禁止となります。
使用再開は9/14 8:00を予定しております。9/14 8:00
SEM使用再開しました。 - September 13, 12:00
We once broke the vacuum to recover the object that dropped into the sample chamber.
SEM is prohibited until the degree of vacuum in the sample chamber is restored.
We are planning to resume use at 8 o’clock on September 14.September 14, 8:00
The use resumed.
【Disabled】城北キャンパス停電によるクリーンルーム停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
8月26日(土）～８月27日(日）、は城北キャンパスが施設点検のため、停電となります。
このため、クリーンルームは、8月25(金)16：00～８月28日(月）13:30の期間、停止します。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
Everybody of the clean room user
It’ll be a blackout because Johoku campus is check of facilities on Saturday, August 26-on Sunday, August 27.
Therefore I do closing of facilities of a clean room in 16:00 on 25 Friday in August.
It resumes from 13:30 on Monday, August 28.
Please cooperate.
【Disabled】断水による装置停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
貯水槽清掃及び点検に伴う断水が有ります。
断水時には、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年9月4日(月) 9：00 ～ 12：00（3時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
There is no water with water tank cleaning and check.
Water supply will be cut off from Sep 4th at 9 a.m. to at 12 a.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【Notice】薬品放置時のお願い
薬品放置時のお願い
薬品を放置するときは、以下の情報を容器に書いてください。
- 薬品名
- 研究室名
- 氏名
全ての利用者が安全にクリーンルームを使用するためのルールです。
短時間・長時間に関わらず薬品放置時は必ず守るようお願いします。
Rules on Leaving Chemicals
When leaving chemicals, please write the following information in the container.
- Chemical name
- Your laboratory name
- Your name
This is a rule for all users to be able to use clean room safely.
Please follow this rule regardless of the length of leaving time.
【Disabled】断水(7/29土8時～7/30日17時)のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様
城北講義棟新営工事に伴う断水が有ります。
この影響で、電研クリーンルームの水を利用する装置は利用出来ません。
皆様にはご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をお願い致します。
記
断水日時 ： 平成29年7月29日(土) 8：00 ～ 7月30日(日) 17：00（33時間）
断水範囲 ： 電子工学研究所、ナノデバイス作製・評価センター、光創起イノベーション研究拠点
操作停止装置： 超純水装置、ＲＩＥ（冷却水が止まります）、ドラフト(超純水が利用出来ません）
注 意 ： 電気炉やフォトリソなどの超純水を利用する工程は出来なくなります。
以上
Owing to new construction work of the lecture building, water supply will be cut off from July 29th at 8 a.m. to 30th at 5 p.m. in the following areas.
- Research Institute of Electronics
- Center for Nanodevice Fabrication and Analysis
- Innovative Photonics Evolution Research Center
In the clean room, the following equipment will be suspended.
- Ultrapure Water Production System
- RIE (Reactive Ion Etching)
- Draft Chamber for wet
Also, processes requiring ultrapure water such as wet oxidation and photolithography can not be performed either.
【Notice】電研クリーンルーム利用説明会
本日電研クリーンルーム利用説明会を開催しました。
参加者の皆様はお忙しいところ足を運んでいただきありがとうございました。
日程の都合が合わず参加できなかった皆様は配布資料を是非ご覧ください。
↓↓↓
クリーンルーム説明会(H29)資料
【SEM】SEM停止中
SEM停止中
大気導入によりSEM停止中です。
再開見込みは13：30です。
再開見込みは15：30です。
（15：30）SEM使用再開しました。SEM is disabled
SEM is disabled due to air introduction.
The resumption prospect is 13:30.
The resumption prospect is 15:30.
(15:30) SEM is enabled.