電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2019年3月4日（月）～ 3月15日(金)
目的 ：電子銃の交換
レーザー干渉計の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 4, 2019-Friday, March 15
The purpose : Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer
超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.
- 超純水装置利用を再開しました
事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
解決方法：圧力センサー交換 - Use of ultra pure water equipment was resumed
A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
Solution method: Pressure sensor exchange
エリプソ故障 復帰しました1/22 During a ellipsometer breakdown Use was resumed
エリプソ故障中 1/22(利用再開しました）
トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中 → 1月22日 利用再開During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed）
Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
Cause: For an error to occur at the time of a software start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated. 2019/01/22(Use was resumed）
CR装置の管理者予約制限のお知らせ
- CR装置の管理者予約制限のお知らせ
1 装置予約は、CR予約システムでの、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先
2 CR管理室での予約は、各研究室の予約時間限度(24時間)を超えてから
・1回目：当日から6日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：48時間まで）
・2回目：当日から5日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：72時間まで）
・3回目：当日から4日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：96時間まで） - News of administrator reservation restriction of CR equipment
1 Equipment reservation gives priority to the reserved time allocation in each laboratory by a CR reservation system (24 hours/7 days).
2 CR management office reservation is the reserved time limit of each laboratory (24 hours).
* The 1st time: From the day to within 6 days and the reserved time for 24 hours.
* The 2nd time: From the day to within 5 days and the reserved time for 24 hours.
* The 3rd time: From the day to within 4 days and the reserved time for 24 hours.
CR装置の管理者予約制限のお知らせ
CR装置の管理者予約制限のお知らせ 1 研究室での予約時間割り当て（24時間/7日間）を越え、1回目の予約であること 2 管理室での予約可能時間は、当日から6日以内とする News of administrator reservation restriction of CR equipment 1 Be the 1st time of reservation beyond the reserved time allocation at a laboratory (24 hours/7 days). 2 The reservation possible hour at the management office is made in the range for 6 days from the day.
・装置予約の原則として当日～7日間は、利用者がCR予約システムから予約する
・6日目～7日目は、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先するため、CR予約システムで1日間公開する
* For on the day-7 days, the user makes a reservation from a CR reservation system as a principle of equipment reservation.
クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)
静岡大学の浜松キャンパスは、年末年始建物閉鎖となります。
このため、光創起棟1階クリーンルームは、装置を停止します。 停止期間は以下となります。
停止期間：平成30年12月27日（木）9時 ～ 平成31年1月8日（火）9時
注：描画装置は、装置起ち上げ作業のため、平成31年1月10日（木）16時に復旧見込みです。
Hamamatsu campus in Shizuoka University will be New Year’s building closing.
Therefore a clean room stops hikarisoukitou 1st floor of equipment. A stop period will be below.Stop period: 9:00 Thursday December 27 in 2018-9:00 Tuesday January 8 in 2019
Note: Equipment stands up and for work, EB drawing equipment is restored hope on January 10, 2019 at 16:00 Thursday.
CR予約システムの不具合について 12月4日(火)復活しました。
現在、電子工学研究所のサーバーメンテナンス中です。
このため、電研CR予約システムにも接続出来ません。
12月4日(火)には復帰すると思われますので、ご容赦願います。
よろしくお願いいたします。
局所排気装置点検のお知らせ 11月14日(水） 予備日11月16日(金)
クリーンルーム内の局所排気装置を点検します。
日時：11月14日(水）09:00～12：00となります。
雨天の場合は、11月16日(金) 09:00～12:00となります。
点検装置：下記装置が使用出来ません
現像用ドラフト・スピンコーター・ホットプレート・電気炉（A～D）
よろしくお願いいたします。
薬品管理システム保守点検 10/3 13:30～14:30
光創起棟の薬品管理システム保守点検日は、10月3日(水)13:30～14：30の予定です。
上記の時間を割けて、薬品を取り出して下さい。
よろしくお願いいたします。 クリーンルーム管理室
平成30年9月21日
薬品管理システム利用者 各位
安全衛生センター
薬品管理システム保守点検について（通知)
日頃、薬品管理システムのご利用ありがとうございます。
連絡が遅くなり大変申し訳ございませんが、本システムの維持管理のため
平成30年度薬品管理システムの保守点検を下記の日程で実施いたします。
当日は業者が各薬品管理室にて保守点検作業（約１時間）を行ないます
ので、ご協力方よろしくお願いいたします。
端末保守作業中は一時間程度、利用できませんので行程表を参考に調整
いただければ幸いです。
点検時間は保守作業により若干前後することがありますがご了承下さい。
※端末に関しては、点検時のみ一時的に停止する時間が発生します。
サーバーは原則として停止しませんが、バックアップ作成時のみ一時的に
停止する場合がありますのでご了承願います。
【Vacuum Deposition System】蒸着装置（汎用） 修理完了
- 蒸着装置（汎用）のスイッチ部品が故障したため、現在使用停止しています。
部品の交換は7/23以降に行う予定です。
部品交換が完了しましたら、改めてお知らせいたします。【7/31追記】
交換部品の納期は2週間後とのことです。【8/20追記】
交換部品の到着は8/24(金)の予定です。
ただし、24日午後からクリーンルームは翌日の停電に備える作業に入るため、蒸着装置の利用再開は8/31(金)以降になります。
停電に関するお知らせは以下をご参照ください。【8/31追記】
蒸着装置漏電ブレーカを交換し、修理完了しました。
- Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) is inactive for switch component failure.
Parts will be exchanged after July 23.
We will inform you again once parts exchange is completed.【Add on 7/31】
The delivery date of replacement parts is 2 weeks later.【Add on 8/20】
The arrival of replacement parts is scheduled for 8/24 (Friday).
However, from the afternoon of the 24th, clean room will start preparing for power outage the next day, resuming use of Vacuum Deposition System will be after 8/31 (Friday).
Please refer to the following for announcements concerning power outages.【Add on 8/31】
Restoration work is over.