大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について
連休中は職員不在のため電研共通窒素ラインのボンベ交換ができず、窒素ガスが不足しても対処できません。
そこで、窒素を大量に消費する以下の装置の使用を禁止します。・電気炉
・アライナまた、動作に窒素ガスを必要とする以下の装置に関しては、急を要する作業以外は極力使用を控えてください。
・ECRスパッタ
・SEM
・電子ビーム描画装置
・窒素ガンAbout suspended use of some devices during Golden Week (5/3～5/7)
During the holidays, the use of the following devices is prohibited.
・Electric Furnace
・Mask AlignerAlso, refrain from using the following devices unless absolutely necessary.
・ECR Sputter
・SEM
・Electron Beam Lithography System
・Nitrogen gun
【Notice】個人の物品を持ち帰ってください。
- 新年度が始まり、クリーンルームには新しい利用者が増えます。
初めてクリーンルームを使う人が困惑しないよう、共用の物品と個人の物品を区別しましょう。***予告***
4/10
所有者不明のクリーン服を回収します。
クリーン服を放置している人はいったん持ち帰ってください。
4/17
イエロールーム内の現像用ビーカーに「共用」ラベルを貼りつけます。
個人のビーカー等があればはっきりと記名してください。 - The new semester starts and the number of new users of the clean room increases.
Let’s distinguish between shared goods and individual goods to avoid confusion of new users.***NOTICE***
4/10
Clean wear whose owner is unknown will be collected.
If you leave clean wear in the clean room, please take it to your lab. once.
4/17
Beakers for development in the yellow room will be affixed with a “Common Use” label.
Please write your lab. name clearly if there is an individual beaker etc.
【Disabled】断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ（再掲）
平成29年2月10日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ
施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。 このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月25日(土) 9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。
【Ultrapure Water】超純水装置使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
平成29年3月8日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
超純水使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
超純水の定期メンテナンスを行います。 定期メンテナンス作業中は、電研クリーンルームで超純水は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点はクリーンルーム管理室に、お問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月13日(月) 9：00～13：30（4時間程度）
停止装置：超純水装置（UVランプ交換 UFフィルタ交換 調整作業）
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
【Disabled】静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします（再掲）
平成29年2月16日(木)
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
水野・清水
静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします
静岡大学では、２月25日（土）と3月12日（日）に、前期と後期の入学試験が有ります。
これに伴い、電子工学研究所クリーンルーム（314室・316室）の装置は使用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願いいたします。
なお、不明な点は、クリーンルーム管理室までお問い合わせ願います。
よろしくお願いいたします。
【Disabled】電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ（再掲）
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電研棟では共通窒素ガス配管の定期点検のため、2月27日（月）～3月1日（水）の期間、共通窒素ガス配管からの窒素ガスが利用できません。 このため電研クリーンルームで、共通窒素ガスを利用している下記の装置は装置利用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。関係する装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月27日(月) ～ 3月1日(水)
２ 停止装置： 314室（FE-SEM 電気炉A・B・C・D アライナ スピンコーター エアガン）
316室（電子描画装置）
以上
【FE-SEM】FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ（2/9追記）
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
FE-SEMトラブルによる停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電子工学研究所314室のFE-SEM(電子顕微鏡)ですが、サンプルの導入・搬出作業時に大気導入による停止が頻発しています。 ここ一週間の間に十数回の大気導入による停止が発生し、ここ数日は、ベテラン利用者も同様のトラブルを発生させています。 この状態は、操作ミスよりも装置に起因するトラブルの可能性が高いため、装置の真空ポンプ系保護のために、FE-SEMを利用停止とします。 なお、2月6日（月）～2月9日（木）に定期メンテナンスを行いますので、この定期メンテナンスで通常状態に復帰する予定です。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 FE-SEMを利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月3日(金) ～ 2月9日(木)
２ 内 容： FE-SEM真空ポンプ系保護のための利用停止 (2/3～2/5)
JSM-7600F型走査電子顕微鏡再調整 (2/6～2/9)
以上
【2/9追記】
2月9日（木）16:30 メンテナンス終了しました。
現在FE-SEMは正常に使用できます。
【Disabled】センター入試による使用停止
平成29年1月14日（土）～1月15日（日）は、浜松キャンパスでセンター試験が有ります。
両日とも、関係者以外立入禁止となります。
これに伴い、クリーンルームも使用停止とします。
皆様のご協力を、よろしくお願い致します。
【Notice】機器講習申し込みフォームの設置
「初めて使う装置の操作方法が分からない…」
「先輩に操作方法を教わったけどなんだか不安…」
「何度も使っている装置のことをいまさら聞くのは…」
と感じているユーザーの皆様、
「装置」ページ下部に機器講習申し込みフォームを設置しました！
こちらにもリンクを貼っておきます。
【機器講習申し込みフォーム】
電研クリーンルーム内の機器講習を希望する方は申し込みフォームに記入し、送信ボタンを押してください。
記入していただいたアドレス宛に講習の日程調整のご連絡を差し上げます。
※職員の日程や機器の使用状況によって、返答や講習開催まで数日かかる場合がございます。あらかじめご了承ください。
※留学生のみでの受講はお断りする場合がございます。恐れ入りますが、日本語との通訳ができる方を同伴して参加していただきますようお願い申し上げます。
【Disabled】年末年始、使用停止のお知らせ
電研クリーンルーム利用者の皆様へ
年末年始、使用停止のお知らせ
下記の期間は、静岡大学浜松キャンパスは建物閉鎖となります。
平成28年12月27日（火）17:30 ~ 平成29年1月4日(水）07:00
したがって、クリーンルーム装置利用は、12月27日16:30まででとします。
新年は、1月4日（水）から利用できますが、エアコンは8時30分から始動します。
このため午前中の室内は、寒いですがご容赦ください。
ご協力をよろしくお願いいたします。