ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
Siターゲット交換及び内部機器洗浄作業のため、
ECRスパッタ装置の利用を停止いたします。停止期間：6/7(火)-6/15(水)終日
(6/7)追記：内部の状況を鑑みて利用を停止させていただきます。
Stop using ECR
Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
ECR sputtering equipment will not be available.A fixed date : Tuesday, June 7 ～ Wednesday, June 15
電子描画装置メンテナンスのお知らせ(7/4-7/15)
電子描画装置メンテナンスのお知らせ
電子銃交換及びメンテナンスのため、
下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。期間 ：2022年7月4日(月)6:00 ～ 7月15日(金)17:00
Stop using Electron Beam Lithography System
For electron gun replacement and maintenance,
the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.A fixed date : Monday, July 4, 6:00 ～ Friday, July 14, 17:00
電気炉利用停止のお知らせ(4/20)
電気炉利用停止のおしらせ(4/20)
電気炉Aヒーター部交換作業のため、
下記の日時で電気炉の利用を停止いたします。停止期間：4月20日(水)9:00~18:00
Stop using Precision Diffusion Furnace(4/20)
Due to the replacement of the heater section of electric furnace A
The electric furnace will be out of service on the following dates and times.Date: Wednesday, Aplil 20, 9:00 ~18:00
超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/7 10:00-15:00予定)
超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/4 10:00-15:00予定)
超純水精製装置の消耗部品交換作業を行うため、
下記の日程で超純水の利用を停止いたします。停止期間：4月7日(木)10:00~15:00(予定)
※作業終了次第利用を再開いたします
Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(4/7 10:00-15:00)
In order to replace consumable parts of the ultrapure water purifier
The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.Date: Thursday, April 7, 10:00 ~15:00(tentative*)
*We will resume use as soon as the work is completed.
超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)
超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)
超純水精製装置の消耗部品交換作業を行うため、
下記の日程で超純水の利用を停止いたします。停止期間：3月14日(月)10:00~15:00
Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(3/14 10:00-15:00)
In order to replace consumable parts of the ultrapure water purifier
The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.Date: Monday, March 14, 10:00 ~15:00
窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)
窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)
光拠点棟窒素ガス供給系統が停止されるため
下記の日時で窒素ガス利用装置の利用を停止いたします。停止期間：3月 9日(水)10:00~16:00
3月17日(木)10:00~16:00Notice of partial suspension of equipment use due to nitrogen gas supply suspension(3/9,3/17)
Stop using some instruments for nitrogen gas supply suspension.
Date: Wednesday, March 9, 10:00 ~16:00
Thursday, March 17, 10:00 ~16:00
電気炉A利用停止のお知らせ(2/4-)※追記あり
電気炉A装置利用停止のおしらせ
ヒーター部の故障のため、利用を停止させていただきます。
対応状況：業者のヒーター部交換作業を予定
(2/16追記)復旧は最短でも5月頃となります。
相談がある場合は管理室までお問い合わせください。
Stop using Precision Diffusion Furnace A
Trouble details: Failure of the heater part
current situation: Schedule parts replacement work
Restoration will take place in May at the earliest.If you have any questions, please contact the CR office.
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ
年末年始、CR使用停止のお知らせ
年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
CRの使用を停止させていただきます。停止期間：12月27日(月)12:00~1月5日(水)13:30
電子描画装置については
1月6日(木)12:00からの利用を再開します。Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.
We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.
Date: Monday,Dec 27, 12:00 ~ Wednesday, Jan 5, 13:30
About Electron Beam Lithography System,
you can use that from Thursday, Jan 6, 12:00
一部装置利用停止のお知らせ(12/7 14:00-15:00)
一部装置利用停止のお知らせ
エアーコンプレッサー機の圧力設定変更のため、
下記の日時で圧縮空気の供給が停止されます。
そのため圧縮空気を利用する装置は下記の時間利用できません。停止期間：12月7日(火)14:00~15:00
Stop using some instruments for air compressor construction
Stop using some instruments for air compressor construction
Compressed air supply stops for air compressor construction.
So stop using some instruments.Date: Tuesday, December 7, 14:00 ~15:00
抵抗率測定器利用再開のお知らせ
抵抗率測定器使用利用再開のおしらせ
測定架台の修理が終わりました。
利用を再開いたします。Resistivity Measuring Instrument restoration
trouble:The height adjustment screw of the measurement stand does not work properly.
The measurement stand has been repaired.