超純水装置利用を再開しました事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
解決方法：圧力センサー交換
Use of ultra pure water equipment was resumedA phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
Solution method: Pressure sensor exchange