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  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    トラブル：冷却装置の異常及び真空度の低下

    対応：メーカーに問い合わせ中
    停止期間：未定

    6/22追記：冷却装置の交換作業を検討しております。
    　　　　　先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Cooling system malfunction and　decrease in vacuum
    Stop period: undecided