電子描画装置メンテナンスのお知らせ(2/4-2/14)

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  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

    期間　：2020年2月4日(火)6:00　～　2月14日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Tuesday,Feb 4, 6:00　 ～　Friday,Feb 14, 17:00

酸ドラフト使用停止のお知らせ(1/14(月)9:00-14:00)

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  • 酸ドラフト使用停止のお知らせ

    酸ドラフトのスクラバー装置部品交換作業のため、
    下記の期間使用を停止させていただきます。

    期間　：2020年1月14日（火）9:00　～　14:00

  • Stop using acid Fume Hood

    Acid fume hood will be stopped for scrubber device parts replacement.

    A fixed date　:　 Tuesday,Jan 14, 9:00　 ～　14:00

年末年始、CR使用停止のお知らせ

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  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月27日(金)12:00~1月7日(火)13:30

    電子描画装置については
    1月9日(木)9:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Friday,Dec 27, 12:00 ~ Tuesday, Jan 7, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Thursday, Jan 9, 9:00

CR内における工事業者立入のお知らせ(12/6-12/7)（12/3日程変更追記)

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  • CR内における工事業者立入のお知らせ(12/6-12/7)

    12月6日(金)-12月7日(土)にかけて
    卓上型ランプ加熱装置の配管及び電気系統の工事作業を行います。
    工事に伴いクリーン度の低下、騒音、振動等が発生します。

    12月7日(土)は高純度精製装置系統のガス配管工事を行うため、
    電気炉は休止とさせていただきます。

    ご理解のほどよろしくお願いいたします。

    追記：工事日程の変更がありました。(12/3)
    　　　12/6-12/7 の２日間になります。

  • Announcement of construction contractor entry in CR(12/5-12/7)

    Plumbing work will be carried out from December 5th to December 7th.

    Therefore,deterioration of cleanliness, noise, vibration, etc. occur with CR.

    December 7th, Precision Diffusion Furnace is unavailable　because of gas piping work

超純水装置停止のお知らせ ※日程変更（12/3 9:30-)

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  • 超純水装置停止のお知らせ

    消耗部品交換により超純水精製装置を停止させるため、
    超純水の使用ができません。

    期間　：2019年12月3日（火）9:30　～　交換作業終了次第利用再開

    ご理解くださいますようお願いいたします。

    追記：交換作業の日程が変更になりました。（11/22)

  • Stop using Ultrapure water production equipment

    Ultrapure water production equipment　will be stopped for parts replacement.
    Therefore, cannot use ultrapure water.

    A fixed date　:　 Tuesday,Dec 3, 9:30　 ～　Until the end of replacement

台風19号に伴う利用休止のお知らせ

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  • 台風19号に伴う利用休止のお知らせ

    台風19号の影響により、下記の日程でクリーンルームの利用を休止させていただきます。

    期間　：2019年10月11日（金）17:00　～　2019年10月14日(月）8:30

    電子描画装置と走査電子顕微鏡については停電対応として装置の立ち下げを行うため、
    利用再開の日時は下記とさせていだきます。

    走査電子顕微鏡：2019年10月14日（月）12:00~
    電子描画装置　：2019年10月15日（火） 8:30~

  • About correspondence with typhoon 19

    A clean room can’t be used the following period about typhoon 19.

    A fixed date　:　 Friday,October 11, 17:00　 ～　Monday, October 13 8:30

    The resumption date for Scanning Electron Microscope(SEM) and Electron Beam Lithography System(EB)
    is as follows

    SEM: Monday ,October 14 12:00~
    EB : Tuesday,October 15 8:30~

汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ（10月9日利用再開)

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  • 汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

    トラブル：ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

    対応：装置の洗浄及びオイル交換

    追記：10月9日　装置のメンテナンスが終了しました

    　

  • Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

    Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

    Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

    P.S.　10/9 　Maintenance work finished.