装置一覧
ウェーハプロセス用 処理装置
名称 型番 メーカー 用途 1 電子ビーム描画装置 ELS-7700K ELIONIX 電子ビームによる露光 2 手動マスクアライナ MJB4 SUSS MicroTec 紫外光による露光 3 スピンコーター ACT-200DⅡ アクティブ レジスト塗布 4 スピンコーター(停止中) ACT-300AⅡ アクティブ レジスト塗布 5 平行平板型RIE装置 RIE-10NR samco ドライエッチング 6 ICPエッチング装置(停止中) RIE-200iP samco ドライエッチング 7 半導体用精密拡散炉 ARF3-13A-700W アサヒ理化製作所 熱処理 8 卓上ランプ加熱装置 MILA-5050 アサヒ理化製作所 熱処理 9 固体ソースECRプラズマ成膜装置 AFTEX EC-2300 MESアフティ スパッタリング 10 マグネトロンスパッタ装置 L-250S-FH キヤノンアネルバ スパッタリング 11 電子顕微鏡試料作製用装置 SC-701MkⅡADVANCE サンユー電子 スパッタリング 12 真空蒸着装置（Al専用） VWR-400M/ERH ULVAC アルミ薄膜形成 13 真空蒸着装置（汎用） VPC-260F ULVAC 金属薄膜形成 14 電子ビーム蒸着装置 ED-1500 サンバック 金属薄膜形成 15 手動スクライバー SC-100 ムサシノ電子 ウェハのカット 組立用装置
名称 型番 メーカー 用途 16 マニュアルボールワイヤーボンダー 7700C ハイソル ボールボンディング 17 マニュアルウェッジワイヤーボンダー 7476D ハイソル ウェッジボンディング 検査用装置
名称 型番 メーカー 用途 18 走査電子顕微鏡 JSM-7600F JEOL 検査 19 走査型プローブ顕微鏡システム SPI3800 SII 検査 20 半導体/FPD検査顕微鏡 MX51 OLIMPUS 検査 21 デジタルマイクロスコープ DSX500 OLIMPUS 検査 22 反射分光膜厚計 FE-3000 大塚電子 膜厚測定 23 エリプソメーター DHA-OLXS 溝尻光学工業所 膜厚測定 24 サーフェイスプロファイラ Alpha-Step IQ KLA-Tencor 表面検査 25 抵抗率測定器 K-705RS 共和理研 抵抗率測定 関連装置
名称 型番 メーカー 用途 26 超純水製造装置 FP-0500/PRO-0250 オルガノ 超純水の製造 27 高純度不活性ガス精製装置 SPNP-1100-00030X 大陽日酸 高純度窒素ガスの精製 28 高純度酸素ガス精製装置 SPOP-1100-00030X 大陽日酸 高純度酸素ガスの精製 29 ドラフトチャンバー CYV-180VZ ヤマト科学 酸性薬品の操作 30 ドラフトチャンバー DFV-11SK-78BL1 ダルトン アルカリ性薬品の操作 31 ドラフトチャンバー RFS150SJ ヤマト科学 有機系薬品の操作 32 ドラフトチャンバー RFS120SJ ヤマト科学 ホットプレートの操作 33 マグネチックスターラー付恒温油槽 PS-1000 EYELA 薬品の温度コントロール 34 電子冷却マイクロサーキュレーター PMC-015A アズワン 薬品の温度コントロール 35 冷却恒温水槽 NCL-M40 日伸理化 薬品の温度コントロール 36 クリーンホットプレート MH-180CS/MH-3CS アズワン 加熱、乾燥 37 セラミックホットプレート CHP-170DF AS ONE 加熱、乾燥 38 簡易デジタルはかり GTDS-30K GREATTOOL 秤量 39 電子天びん EL-1200HA 島津製作所 秤量 40 電子天びん Fx-300i A&D 秤量 41 超音波洗浄機 ASU-3M AS ONE 洗浄 配置図
Device List
Wafer Processing Device
Name Model number Manufacturer Use 1 Electron Beam Lithography System ELS-7700K ELIONIX Exposure by electron beam 2 Mask Aligner MJB4 SUSS MicroTec Exposure by ultraviolet light 3 Spincoater ACT-200DⅡ Active Resist coating 4 Spincoater(Stop) ACT-300AⅡ Active Resist coating 5 Parallel Plate RIE System RIE-10NR samco Dry etching 6 ICP Etching System(Stop) RIE-200iP samco Dry etching 7 Precision Diffusion Furnace ARF3-13A-700W ASH Heat treatment 8 Desktop Lamp Annealing MILA-5050 ADVANCE RIKO Heat treatment 9 Solid Source ECR Plasma Deposition System AFTEX EC-2300 MES Afty Sputtering 10 Magnetron sputtering L-250S-FH Canon Anerva Sputtering 11 Sample Producing Device for Electron Microscope SC-701MkⅡADVANCE Sanyu Electron Sputtering 12 Vacuum Vapor Deposition System (Al only) VWR-400M/ERH ULVAC Formation of aluminum thin film 13 Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) VPC-260F ULVAC Formation of metal thin film 14 Electron beam evaporation system ED-1500 SANVAC Formation of metal thin film 15 Manual Scriber SC-100 MUSASHINO DENSHI Wafer cutting Assembly Device
Name Model number Manufacturer Use 16 Manual Ball Wire Bonder 7700C HiSOL Ball bonding 17 Manual Wedge Wire Bonder 7476D HiSOL Wedge bonding Inspection Device
Name Model number Manufacturer Use 18 Scanning Electron Microscope JSM-7600F JEOL Inspection 19 Scanning Type Probe Microscope System SPI3800 SII Inspection 20 Semiconductor & FPD Inspection Microscope MX51 OLIMPUS Inspection 21 Digital Microscope DSX500 OLIMPUS Inspection 22 Thickness Monitor FE-3000 Otsuka Electronics Film thickness measurement 23 Ellipsometer DHA-OLXS Mizojiri Optical Industry Film thickness measurement 24 Surface Profilometry Alpha-Step IQ KLA-Tencor Surface inspection 25 Resistivity Measuring Instrument K-705RS Kyowa Riken Resistivity measurement Related Device
Name Model number Manufacturer Use 26 Ultrapure Water Production System FP-0500/PRO-0250 ORGANO Production of ultrapure water 27 High purity inert gas purifier SPNP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso Co. Purification of high purity nitrogen gas 28 High purity oxygen gas purifier SPOP-1100-00030X Taiyo Nippon Sanso co. Purification of high purity oxygen gas 29 Fume Hood CYV-180VZ Yamato Scientific co. Operation of acidic chemicals 30 Fume Hood DFV-11SK-78BL1 DALTON Operation of alkaline chemicals 31 Fume Hood RFS150SJ Yamato Scientific co. Operation of organic chemicals 32 Fume Hood RFS120SJ Yamato Scientific co. Operation of hot plate 33 Thermostat with Magnetic Stirrer
PS-1000 EYELA Temperature control of chemicals 34 Electronic Cooling Micro Circulator PMC-015A AS ONE Temperature control of chemicals 35 Cooling Thermostat NCL-M40 NISSIN Temperature control of chemicals 36 Clean Hot Plate MH-180CS/MH-3CS AS ONE Heating, Drying 37 Ceramic Hot Plate CHP-170DF AS ONE Heating, Drying 38 simple digital scale GTDS-30K GREATTOOL Weighing 39 Electronic Balance EL-1200HA SHIMADZU Weighing 40 Electronic Balance Fx-300i A&D Weighing 41 Ultrasonic Washing Machine ASU-3M AS ONE Washing Layout Map