汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ

トラブル：真空度が上がらない

対応：ロータリー、油拡散ポンプの点検
停止期間：来週復旧予定

Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

Corresponding: The vacuum does not increase.
Stop period: Scheduled to be restored next week

クリーンルーム利用停止のお知らせ

イエロールーム空調機部品交換作業のため、
下記の日程でイエロールームの利用を停止させていただきます。

停止期間：5月14日(金) 9:00～17:00

Notice of no entry Lithography Room for air conditioner construction

Stop using lithography room equipment
for air conditioner construction.

Date　:　 Friday, May 14, 9:00 ～17:00

電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ

電子線描画装置のメンテナンス作業が終了しました。
本日より利用を再開いたします。

 End of Electron Beam Lithography System maintenance

Electron Beam Lithography System maintenance is finished.

ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ

コイル電源の交換作業が終了しました。
利用を再開いたします。

 ECR restoration

ECR　has been repaired.

電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

期日　：2021年3月1日（月）～　3月12日(金)

目的　：電子銃の交換

Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

A fixed date　:　 Monday, March 1, 2021-Friday, March 12

The purpose　:　 Exchange of an electron gun

ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

コイル電源の交換作業のため、下記の期間利用を停止いたします。

停止期間：3/1 8:00 – 3/2 17:00

Stop using ECR

We will stop using ECR during the following periods for replace coil power supply

Date: Monday, March 1, 8:00 ~ Tuesday, March 2, 17:00

デジタルマイクロスコープ(DSX500)復旧のおしらせ

点検に出していたデジタルマイクロスコープが返却されました。
使用を再開いたします。

Digital Microscope restoration

Digital Microscope has been repaired.
Resume use.

クリーンルーム利用停止のお知らせ

空気圧縮機交換作業のため、
下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

停止期間：2月19日(金) 9:00～17:00

Notice of no entry Clean Room for air compressor construction

Stop using clean room equipment
for air compressor construction.

Date　:　 Friday, February 19, 9:00 ～17:00

マスクアライナ復旧のおしらせ

本日マスクアライナの修理が終わりました。
使用を再開いたします。

Mask Aligner restoration

Mask Aligner has been repaired..

マスクアライナ使用停止のおしらせ

トラブル：WECダイアルが機能せず、WEC-settingが行えない。

対応：メーカーへの点検依頼
停止期間：未定

Stop using Mask Aligner

Corresponding: Cannot adjust WEC-setting.
Stop period: Undecided