汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ(10月9日利用再開)

  • 汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

    トラブル:ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

    対応:装置の洗浄及びオイル交換

    追記:10月9日 装置のメンテナンスが終了しました

     

  • Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

    Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

    Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

    P.S. 10/9  Maintenance work finished.

電子描画装置使用停止(7月24日16:00-利用再開)

  • 電子描画装置使用停止のお知らせ

    トラブル:昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

    対応:電子ビームの再立ち上げを実行
    停止期間:7月24日16:00まで

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

    Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
    Stop period: 7/23 ~16:00.

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止(7月23日利用再開)

  • 走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のお知らせ

    トラブル:試料ステージエラーにより観察が行えない。

    対応:メーカへ点検作業を依頼
    停止期間:7月23日再開予定

    追記:7月23日使用再開しました。

  • Stop using SEM(7/23 Resume use) 

    Troubling:Observation can not be performed due to sample stage error.

    Corresponding: Ask the manufacturer to inspection work.
    Stop period: It’s being investigated.

【Disabled Device】8/24~25停電、CRメンテナンス8/23~9/3について

  • 8月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・23日(金)12時:クリーンルーム装置利用停止
    ・24~25日:停電日
    ・26~27日:空調保守点検
    ・28~30日:特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月3日(火)12時:クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月3日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月5日(木)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On August 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・23 From 12 o’clock Device use suspension
    · 24 – 25th: Simultaneous blackout
    · 26 – 27th: Air conditioning maintenance inspection
    · 28 – 30th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・September 3 From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 3.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 5.
    We will inform you again when there is an update of information.

電気炉A使用停止(※8月2日利用再開)

  • 電気炉A使用停止のお知らせ

    トラブル:電磁弁の不具合により窒素が流れない。

    対応:メーカへ部品交換を依頼
    停止期間:8月2日部品交換作業

    追記:(8/2)修理作業が終わりました。
          利用を再開しました。  

  • Stop using Precision Diffusion Furnace A

    Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure .

    Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
    Stop period: It’s being investigated.

    Postscript:Repair work is over(8/2)