【Notice】光創起棟クリーンルーム利用説明会（6/7）

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  • 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成30年5月31日
    理工系研究室の皆様へ

    　　　　　　　　光創起棟クリーンルーム利用説明会のご案内

    　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　電子工学研究所
    　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　クリーンルーム

    　電子工学研究所クリーンルーム（以下「電研CR」）は主にナノデバイス作製
    評価を目的とした共同利用施設で、毎年約30研究室が利用しています。
    　電研CRはこの度、電研棟改修に伴い光創起イノベーション研究拠点棟1階ク
    リーンルーム（以下「光創起棟CR」）に装置を移設しました。現在移設作業の
    仕上げに差し掛かっており、6月11日には利用者への開放を予定しております。
    　つきましては、光創起棟CRの利用方法および、電研CRから移設した電研CR
    所属の装置等に関する説明会を開催したいと思います。昨年度まで電研CRを利
    用してきた方、これから初めて光創起棟CRを利用する方、クリーンルームとい
    うものに興味がある方、是非ご参加ください。

    　　　　　　　　　　　　　　　記

    ■日時：6月7日（木）13:30～14:30
    ■場所：情報学部2号館13教室
    ■内容：
    　1.光創起棟CRと電研CRの紹介
    　2.光創起棟CR使用上のルール
    　3.電研CR所属装置について
    　4.薬品について
    　5.光創起棟CR内における非常時の対応について
    　6.質疑応答
    ■備考：
    　既に光創起事務局へ利用申請を出した方は原則参加してください。
    　都合により不参加の場合は所属研究室の教員から説明会の内容を聞いてください。

    参加を希望する方は下記フォームから申し込んでください。
    申込締切は6月5日（火）です。
    https://forms.office.com/Pages/ResponsePage.aspx?id=ANzX4CFG4E-Qsd97G0CzUYMD3U0HBo1IrXvHnEuGGZtUM1lINjdJN1o3OEROVjg3TkFBRU05QUg2VC4u

  • To the science and engineering laboratory
    　　

    Information on iPERC’s clean room utilization briefing sessions

    　The Clean Room of Reserch Institute of Electronics (hereinafter “RIE’s CR”) is a jointly-owned facility designed primarily for the fabrication and evaluation of nanodevices, and about 30 laboratories use it annually.
    　RIE’s CR has recently relocated the devices to Clean Room on the 1st floor of innovative Photonics Evolution Research Center (hereinafter “iPERC’s CR”) following the renovation of RIE building. It is about to finish the relocation work now, and we plan to open to users on June 11.
    　For that reason, we would like to hold a briefing session on how to use iPERC’s CR and devices belonging to RIE’s CR transferred from RIE’s CR. Those who have used RIE’s CR until last year, those who will use IPERCCR for the first time, those who are interested in a clean room, please join us.

    　　　　　　　　　　　　　　　(Details)

    ■Date and time：Thursday June 7th 13: 30 ~ 14: 30
    ■Venue：Faculty of Informatics Building # 2 13 classrooms
    ■Contents：
    　1.Introduction of iPERC’s CR and RIE’s CR
    　2.Rules for using iPERC’s CR
    　3.About devices belonging to RIE’s CR
    　4.About chemicals
    　5.About emergency response in the iPERC’s CR
    　6.Q & A
    ■Note：
    　Those who already submitted applications to the iPERC office must participate. Please learn the content of the briefing from your mentor if you can not participate.

    Please apply from the form below to participate. Application deadline is Tuesday June 5th.
    https://forms.office.com/Pages/ResponsePage.aspx?id=ANzX4CFG4E-Qsd97G0CzUYMD3U0HBo1IrXvHnEuGGZtUM1lINjdJN1o3OEROVjg3TkFBRU05QUg2VC4u

    2018/05/31
    RIE’s CR staff

【Notice】予約システム稼働前テスト

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  • 電研CR装置は6月11日開放を目途に移設を進めております。
    6月11日からの装置の予約はWeb上で行うことになります。
    予約システムが本格的に稼働する前に、利用者の皆様にはシステムテストをご協力お願い致します。

    予約システムはこのページの右側のアイコンまたは以下のURLからアクセスできます。
    （※学内ネットワーク限定※）
    http://www.rie.shizuoka.ac.jp/~crhome/
    まずはログインPASSを取得してから、いろいろな装置の予約を試してみてください。
    テストをする中でシステムの不具合や要望があれば清水までご連絡ください。

    清水連絡先
    メール：shimizu.hikaru★shizuoka.ac.jp　（★→@）
    電話：内線1335
    居室：光創起棟504室

    テストの対象となるのは6月10日までの予約です。
    6月11日以降の予約は本予約となりますのでご注意ください。

  • We are moving forward the relocation of devices for the release on June 11.
    Reservation of devices will be done on the web from June 11th.
    Before the reservation system is fully operational, we ask for cooperation of the system test to the users.

    The reservation system can be accessed from the icon on the right side of this page or from the following URL.
    (※ limited to campus network ※)
    http://www.rie.shizuoka.ac.jp/~crhome/
    Please try booking various devices after getting login PASS.
    Please contact Shimizu if you have any trouble or request of the system during the test.

    Contact Information of Shimizu
    Email:shimizu.hikaru★shizuoka.ac.jp (Convert ★ to @)
    Extension:1335
    Office:Innovative Photonics Evolution Research Center Room 504

    The subject of the test is a reservation by June 10.
    Please note that reservations after June 11th will be real reservations.

【Disabled】電研棟改修に伴う電研クリーンルーム利用停止

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  • 電子工学研究所南側区域の改修に伴い、電研クリーンルームは4/1から停止します。
    装置は全て光創起イノベーション研究拠点棟1階クリーンルームに移設されます。
    現在の計画では4月中に装置を移設し、5月末までに一部の装置を除き再立ち上げを完了する予定です。
    また、移設期間中は当HPの一部を非表示にさせていただきます。
    長期間のクリーンルーム停止により皆様にはご迷惑をおかけしますが、よろしくお願い致します。
  • Due to the renovation of the southern area of the Research Institute of Electronics building, this Clean Room will be suspended from April 1st.
    All devices will be relocated to the Clean Room on the 1st floor of the Innovative Photonics Evolution Research Center building.
    We plan to relocate devices in April and complete restarting by excluding some devices by the end of May.
    In addition, we will hide some of our HP during the relocation period.
    We apologize for everyone due to a long-term clean room stop, but thank you.

【Disabled】電研共通N2ガスの供給停止に伴う装置の停止

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  • 現在、電子工学研究所全体のN2ガスが空のため、
    稼働にN2ガスを必要とする以下の装置は停止しています。

    ・電子線描画装置
    ・FE-SEM
    ・電気炉
    ・スピンコーター
    ・アライナー
    ・RIE
    ・ECRスパッタ
    ・窒素ガン

    新しいガスボンベが届き次第復旧作業を致します。

    【14:16追記】
    電子工学研究所のN2ガス供給が再開しました。上記装置も稼働致します。
    FE-SEMは真空ポンプが長時間停止した影響で、正常な真空度に到達するまで時間がかかります。
    再開までしばらくお待ちください。

    【16:50追記】
    SEM再開しています。

  • Since the N2 gas shared by the Research Institute of Electronics is empty,
    the following devices that require N2 gas for operation are currently suspended.

    ・Electron Beam Lithography System
    ・FE-SEM
    ・Electric Furnace
    ・Spin Coater
    ・Mask Aligner
    ・RIE
    ・ECR Sputter
    ・Nitrogen gun

    We will restore them as soon as a new gas cylinder arrives.

    【Added at 14:16】
    The supply of N2 gas at the Research Institute of Electronics resumed. The above devices will also be restarted.
    Regarding FE-SEM, the vacuum pump has been stopped for a long time, so it takes time to reach the normal degree of vacuum.
    Please wait for a while until restarting.

    【Added at 16:50】
    SEM has been restarted.

【Ultrapure Water】超純水装置停止(1/23AM)のお知らせ

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  • 超純水装置はROエレメント交換のため以下の期間停止します。
    装置停止中は純水を利用できません。
    交換作業が終了し次第装置の運転を再開します。

    日にち：2018年1月23日（火）
    時間　：9：00～13：30（予定）

  • Ultrapure Water Production System stops for the following period due to RO element exchange.
    You can not use ultra pure water while the system is stopped.
    As soon as the replacement work is completed, the operation of the system will resume.

    Date：Tuesday, January 23, 2018
    Time：9：00～13：30 (plan)

【Electric Furnace】電気炉ABピンセット紛失に伴い使用停止中(10/31更新)

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  • ◆10/30（月）
    電気炉AB用のピンセットが紛失したため、電気炉ABは使用停止中です。
    本日新しいピンセットを発注するので、届くまでお待ちください。
    ◆10/31（火）
    ピンセットが見つかったので、洗浄して、元の場所に戻しました。
    電気炉ABは使用可能です。
  • ◆October 30, Monday
    The tweezers for the electric furnace A and B have been lost, so they are stopped use.
    We will order a new tweezers today, please wait till it arrives.
    ◆October 31, Tuesday
    Tweezers were found, washed and returned to their original location.
    Electric furnace AB can be used.

【Notice】316室使用記録簿記入のお願い

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  • 最近316室の装置使用記録簿への記入漏れが多いようです。
    316室は314室と違って各装置ごとに使用記録簿が設置してあります。
    装置を使ったら使用記録簿への記入を忘れずにお願いします。

    使用記録簿の情報は装置トラブル時の対処や、装置使用料金の算出に使う重要なものです。
    授業や研究で忙しい時期かと思いますが、ルールを守りみんなで気持ちよく実験室を使いましょう。

  • It seems that there are many missing entries in room 316 use register recently.
    Unlike room 314 in room 316, a use register is set up for each device.
    Do not forget to fill in the use register after using the equipment.

    The information in the use register is important for coping with troubles of the equipment and for calculating the equipment usage fee.
    We think that everyone is busy with classes and research, but let’s keep rules and use the laboratory comfortably.