アライナ故障中アライナ使用できます
UVランプの電源ユニットの故障により、アライナが使用できません。
使用再開のめどがたち次第報告します。
【5/26追記】
現在アライナは使用できます。
また不具合が発生したらすぐに職員までお知らせください。Failure of Mask AlignerMask Aligner is available
Mask aligner can not be used due to breakdown of UV lamp power supply unit.
We will report as soon as we can resume usage.
【Add on May 26th】
Mask aligner is available now.
In case of trouble, please notify the staff.
【Notice】研究成果の収集にご協力ください
研究成果の収集にご協力ください
電研クリーンルームを利用したことで得られた研究成果を収集しています。
論文投稿や学会発表をした際には是非こちらのフォームからご報告ください。
↓
【研究成果報告フォーム】
（ページ右下のアイコンからもフォームへ飛べます。）
収集した情報は
・ホームページへの掲載
・クリーンルーム新規利用者の獲得材料
等に利用させていただきます。
（もちろん掲載禁止などの指定もできます。）
ご協力お願い致します！
【Spin Coater】スピンコータの不具合
平成29年5月22日
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
スピンコーター（DELTA80T）使用出来ます(5/22)
ズース・マイクロテック社製のスピンコータ（DELTA80T）は、装置立上げ時にエラーメッセージ「Error from controller 47 Error lowering chuck」が発生していましたが、正常に起動出来るようになりました。
2017/5/17
To everybody of the clean room user.
Clean room management office
A spin coater (DELTA80T) can be used.(5/22)
Thank you.
【Hydrofluoric Acid】フッ化水素酸の変更について
フッ化水素酸の変更について
今まで使用してきた森田化学・半導体用フッ化水素酸50%が生産終了しました。
今後はほぼ同等の品である弘田化学・半導体用フッ化水素酸49%を使用します。
しばらくの間はこれらの変更による不具合等がないか注意しながら使用してください。
About change of hydrofluoric acid
Hydrofluoric acid which has been conventionally used is now the production end.
In the future we will use nearly equivalent hydrofluoric acid.
Please use it while paying attention to possibility of troubles due to these change for a while.
【Disabled】大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について
大型連休中(5/3～5/7)の装置使用について
連休中は職員不在のため電研共通窒素ラインのボンベ交換ができず、窒素ガスが不足しても対処できません。
そこで、窒素を大量に消費する以下の装置の使用を禁止します。・電気炉
・アライナまた、動作に窒素ガスを必要とする以下の装置に関しては、急を要する作業以外は極力使用を控えてください。
・ECRスパッタ
・SEM
・電子ビーム描画装置
・窒素ガンAbout suspended use of some devices during Golden Week (5/3～5/7)
During the holidays, the use of the following devices is prohibited.
・Electric Furnace
・Mask AlignerAlso, refrain from using the following devices unless absolutely necessary.
・ECR Sputter
・SEM
・Electron Beam Lithography System
・Nitrogen gun
【Notice】個人の物品を持ち帰ってください。
- 新年度が始まり、クリーンルームには新しい利用者が増えます。
初めてクリーンルームを使う人が困惑しないよう、共用の物品と個人の物品を区別しましょう。***予告***
4/10
所有者不明のクリーン服を回収します。
クリーン服を放置している人はいったん持ち帰ってください。
4/17
イエロールーム内の現像用ビーカーに「共用」ラベルを貼りつけます。
個人のビーカー等があればはっきりと記名してください。 - The new semester starts and the number of new users of the clean room increases.
Let’s distinguish between shared goods and individual goods to avoid confusion of new users.***NOTICE***
4/10
Clean wear whose owner is unknown will be collected.
If you leave clean wear in the clean room, please take it to your lab. once.
4/17
Beakers for development in the yellow room will be affixed with a “Common Use” label.
Please write your lab. name clearly if there is an individual beaker etc.
【Disabled】断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ（再掲）
平成29年2月10日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
断水に伴う一部装置使用停止(3/25)のお知らせ
施設課から、電子工学研究所棟の断水予定日(3/25)の連絡がありました。 このため、電研クリーンルームで水道水利用装置は断水日は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月25日(土) 9：00～17：00（8時間）
停止装置：超純水装置、RIE
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
日程が3月25日(土)に変更になりました。
前回の停止予定日は3月20日(土)でしたが、断水日変更により3月20日(土)は、全ての装置が利用出来ます。
【Ultrapure Water】超純水装置使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
平成29年3月8日
クリーンルーム利用者の皆様へ
クリーンルーム管理室
水野・清水
超純水使用停止(3/13AMのみ)、メンテナンスのお知らせ
超純水の定期メンテナンスを行います。 定期メンテナンス作業中は、電研クリーンルームで超純水は利用出来ません。 皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。 なお、不明な点はクリーンルーム管理室に、お問い合わせをお願い致します。
記
日 時：平成29年3月13日(月) 9：00～13：30（4時間程度）
停止装置：超純水装置（UVランプ交換 UFフィルタ交換 調整作業）
影響を受ける作業：サンプル洗浄（超純水が利用出来ません）、 現像作業（超純水が利用出来ません）
以上
【Disabled】静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします（再掲）
平成29年2月16日(木)
クリーンルーム利用者の皆様
クリーンルーム管理室
水野・清水
静大入試(2/25土)と(3/12日)は装置使用停止とします
静岡大学では、２月25日（土）と3月12日（日）に、前期と後期の入学試験が有ります。
これに伴い、電子工学研究所クリーンルーム（314室・316室）の装置は使用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願いいたします。
なお、不明な点は、クリーンルーム管理室までお問い合わせ願います。
よろしくお願いいたします。
【Disabled】電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ（再掲）
クリーンルーム利用者の皆様へ
平成29年2月3日
電研クリーンルーム
水野・清水
電研棟窒素ガス点検による、装置停止期間のお知らせ
電研クリーンルームの運用にあたっては、いつもお世話になっております。 電研棟では共通窒素ガス配管の定期点検のため、2月27日（月）～3月1日（水）の期間、共通窒素ガス配管からの窒素ガスが利用できません。 このため電研クリーンルームで、共通窒素ガスを利用している下記の装置は装置利用停止とします。
皆様には大変ご迷惑をおかけ致しますが、ご協力をよろしくお願い致します。関係する装置を利用されている研究室では、学生さんへの連絡をお願い致します。
なお、ご不明な点は水野までお問い合わせをお願い致します。
記
１ 停止期間： 平成29年2月27日(月) ～ 3月1日(水)
２ 停止装置： 314室（FE-SEM 電気炉A・B・C・D アライナ スピンコーター エアガン）
316室（電子描画装置）
以上