電気炉A利用停止のお知らせ(2/4-)※追記あり

by Posted in 未分類

  • 電気炉A装置利用停止のおしらせ

    ヒーター部の故障のため、利用を停止させていただきます。

    対応状況：業者のヒーター部交換作業を予定

    (2/16追記)復旧は最短でも5月頃となります。　

    相談がある場合は管理室までお問い合わせください。

  • Stop using Precision Diffusion Furnace A

    Trouble details: Failure of the heater part

    current situation: Schedule parts replacement work
    Restoration will take place in May at the earliest.

    If you have any questions, please contact the CR office.

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ

by Posted in 未分類

  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月27日(月)12:00~1月5日(水)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(木)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Monday,Dec 27, 12:00 ~ Wednesday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Thursday, Jan 6, 12:00

一部装置利用停止のお知らせ(12/7 14:00-15:00)

by Posted in 未分類

  • 一部装置利用停止のお知らせ

    エアーコンプレッサー機の圧力設定変更のため、
    下記の日時で圧縮空気の供給が停止されます。
    そのため圧縮空気を利用する装置は下記の時間利用できません。

    停止期間：12月7日(火)14:00~15:00

  • Stop using some instruments for air compressor construction

    Stop using some instruments for air compressor construction

    Compressed air supply stops for air compressor construction.
    So stop using some instruments.

    Date: Tuesday, December 7, 14:00 ~15:00

電気炉B石英管交換のお知らせ

by Posted in 未分類

  • 電気炉B石英管交換のお知らせ

    電気炉Bの石英管を交換しました。
    それに合わせて周囲の器具(試料台、ピンセット、ケース)の洗浄を行いました。
    未洗浄の試料台については使用を禁止します。

    不明な点がありましたら管理室までご連絡ください。

  • Notice of quartz tube replacement for Precision Diffusion Furnace B

    The quartz tube of Precision Diffusion B has been replaced.
    And the surrounding instruments (sample table, tweezers, and case) have been cleaned accordingly.
    The use of uncleaned sample tables is prohibited.

    If you have any questions, please contact CR management room.

ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ(仮復旧)

by Posted in 未分類

  • ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ

    真空測定部品の復旧が終わりました。
    利用を再開いたします。

    今回の復旧は暫定的な処置になります。
    後日修理作業が入る際は別途お知らせいたします。

  • ECR　restoration(temporary)

    This is only a temporary measure.
    We will notify you separately when the repair work will be done at a later date.

抵抗測定器使用停止のお知らせ(11/9追記)

by Posted in 未分類

  • 抵抗率測定器使用停止のおしらせ

    トラブル：測定架台の高さ調整ネジが正常に動作しない

    対応：メーカーへの修理依頼
    停止期間：未定

    (11/9追記)測定架台の修理依頼を発注しました。
    　　　　　納期目安は10日程度になります。

  • Stop using Resistivity Measuring Instrument

    trouble:The height adjustment screw of the measurement stand does not work properly.

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer.
    Stop period: undecided.

汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ(10/20)

by Posted in 未分類

  • 汎用真空蒸着装置復旧及び操作方法一部変更のお知らせ

    メインバルブリークについて、復旧が終了しました。
    それに関連してメインバルブ操作方法を変更しました。
    詳細は下記のページの8.サンプルのとりだし⓵を確認してください。

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf　　　　　　　　

  •  Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) restoration and partial change of operation procedure

    The main valve leak has been fixed.
    The main valve operation method has been changed to reflect this.
    Please refer to the following page for details: 8.

    https://wwp.shizuoka.ac.jp/rie-cleanroom/wp-content/uploads/sites/31/2021/10/manual_vacuumdeposition_iperc.pdf