フッ素RIE利用再開と注意事項のお知らせ

by Posted in 未分類

  • フッ素RIE利用再開と注意事項のお知らせ

    破損した石英リングの補修を行いました。
    一部欠けた状態ですがご利用いただけます。
    取り扱いにはご注意ください。

    必要に応じて、事前にエッチングレートの確認をお願いします。


  • Notice of Resumption of Fluorine RIE Use and Precautions

    The damaged quartz ring has been repaired.
    It is partially chipped but can be used.
    Please handle with care.

    If necessary, please check etching rate in advance.

フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)

by Posted in 未分類

  • フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)

    石英リングの破損のため、下記の利用を停止いたします。

    ・カーボントレイ、石英リングを使用したエッチング(SiO2,SiNxエッチング)

    停止期間：未定

  • Stop using parallel plate RIE System(4/10-)

    Due to the breakage of quartz rings, we will stop using the following

    Etching (SiO2,SiNx etching) using carbon trays and quartz ring

    A fixed date:undecided

酸ドラフト使用停止のお知らせ(追記3/22 時間変更)

by Posted in 未分類

  • 酸ドラフト使用停止のお知らせ(3/22午後)

    酸ドラフト(CYV-180VZ)の屋上排風機修理作業のため、
    下記の日程で使用を停止いたします。

    停止期間：3月22日12:00～作業終了まで

    3/22追記：修理作業の予定変更のため、停止期間を下記とさせていただきます。
    　　　　　
    停止期間：3月22日9:00～作業終了まで

  • Stop using Fume Hood for acid(3/22 12:00-)

    Due to repair work on the rooftop exhaust fan of the Acid Draft (CYV-180VZ)
    It will be stopped during the following period.

    A fixed date :March 22, from 12:00 to the end of the work

電子描画装置メンテナンスのお知らせ(3/20-3/31)

by Posted in 未分類

  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

    期間　：2023年3月20日(月)8:00　～　3月31日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Monday, March 20, 8:00　 ～　Friday, March 31, 17:00

電子線描画装置利用再開のお知らせ

by Posted in 未分類

  • 電子線描画装置利用再開のおしらせ

    電子線描画装置の復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    原因：条件設定テキストファイルの記憶容量逼迫によるソフトウェア異常
    対応：データの整理による記憶容量の改善

  • electron Beam Lithography System　restoration

    The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
    Use of the system will be resumed.

デジタルマイクロスコープ(DSX-500)利用再開のお知らせ

by Posted in 未分類

  • デジタルマイクロスコープ利用再開のおしらせ

    デジタルマイクロスコープの復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    原因：アプリケーション起動中にPCの強制シャットダウン
    対応：業者対応によるソフトの再インストール

  • digital Microscope　restoration

    The restoration of the digital Microscope has been completed.
    Use of the system will be resumed.

エリプソメーター使用停止のお知らせ(1/18-)(1/23追記)

by Posted in 未分類

  • エリプソメーター使用停止のおしらせ

    トラブル：ハードウェアの初期化が行えず、立ち上がらない

    対応：メーカーへ修理依頼中
    停止期間：未定

    (1/23追記)1/25(水)メーカー修理作業予定

  • Stop using Ellipsometer(1/18-)

    Unable to perform hardware initialization

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided