メンテナンスに伴うクリーンルーム利用停止のお知らせ(8/26-9/6)

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  • 8月27日(土)と28日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・26日12時~ ：クリーンルーム装置利用停止
    ・27日28日　　　：停電日
    ・29日~30日　　：空調保守点検
    ・31日~9月2日 ：冷却水設備点検
    ・31日~9月2日　　 ：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月6日12時　　 ：クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月6日（火）12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月7日(水)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

  • On August 27th (Sat) and 28th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・26　From 12 o’clock　Device use suspension
    · 27 – 28th: Simultaneous blackout
    · 29 – 30th: Air conditioning maintenance inspection
    · 31th – Sep 2nd: Cooling water Equipment Inspection
    · 31th – Sep 2nd: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep　6th　From 12 o’clock　Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 6.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 7.
    We will inform you again when there is an update of information.

ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/30-未定: 7/15追記)

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  • ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

    ECRスパッタ装置内部の状態を鑑みて、
    装置の利用を停止いたします。

    停止期間：6/30(木)-7/8(金)

    7/4(月)以降に内部機器の洗浄を予定しております。
    装置が復旧次第利用再開する見込みです。

    7/12(火)追記：内部真空度が安定しないため利用停止期間を延長します。
    　　　　　 利用再開の際には再度ご連絡いたします。

    停止期間：6/30(木)-7/14(木)予定

    7/15(金)追記：改善が見られないため停止期間を未定とさせていただきます。
    　　　　　 復旧の際にはご連絡いたします。

    停止期間：6/30(木)- 未定

  • Stop using ECR

    Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
    ECR sputtering equipment will not be available.

    A fixed date　:　 Tuesday, June 30 ～　Friday, July 8

ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(6/7-6/15)6/7追記

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  • ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ

    Siターゲット交換及び内部機器洗浄作業のため、
    ECRスパッタ装置の利用を停止いたします。

    停止期間：6/7(火)-6/15(水)終日

    (6/7)追記：内部の状況を鑑みて利用を停止させていただきます。

  • Stop using ECR

    Due to the replacement of Si target and cleaning of internal equipment,
    ECR sputtering equipment will not be available.

    A fixed date　:　 Tuesday, June 7 ～　Wednesday, June 15

電子描画装置メンテナンスのお知らせ(7/4-7/15)

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  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

    期間　：2022年7月4日(月)6:00　～　7月15日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date　:　 Monday, July 4, 6:00　 ～　Friday, July 14, 17:00

電気炉利用停止のお知らせ(4/20)

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  • 電気炉利用停止のおしらせ(4/20)

    電気炉Aヒーター部交換作業のため、
    下記の日時で電気炉の利用を停止いたします。

    停止期間：4月20日(水)9:00~18:00

  • Stop using Precision Diffusion Furnace(4/20)

    Due to the replacement of the heater section of electric furnace A
    The electric furnace will be out of service on the following dates and times.

    Date: Wednesday, Aplil 20, 9:00 ~18:00

超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/7 10:00-15:00予定)

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  • 超純水精製装置利用停止のお知らせ(4/4 10:00-15:00予定)

    超純水精製装置の消耗部品交換作業を行うため、
    下記の日程で超純水の利用を停止いたします。

    停止期間：4月7日(木)10:00~15:00(予定)

    ※作業終了次第利用を再開いたします
    　　　　　

  • Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(4/7 10:00-15:00)

    In order to replace consumable parts of the ultrapure water purifier
    The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.

    Date: Thursday, April 7, 10:00 ~15:00(tentative*)

    *We will resume use as soon as the work is completed.

超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)

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  • 超純水精製装置利用停止のお知らせ(3/14 10:00-15:00)

    超純水精製装置の消耗部品交換作業を行うため、
    下記の日程で超純水の利用を停止いたします。

    停止期間：3月14日(月)10:00~15:00
    　　　　　

  • Notice of suspension of use of ultrapure water purification system(3/14 10:00-15:00)

    In order to replace consumable parts of the ultrapure water purifier
    The use of ultrapure water will be suspended during the following schedule.

    Date: Monday, March 14, 10:00 ~15:00

窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)

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  • 窒素ガス供給停止による一部装置利用停止のお知らせ(3/9,3/17)

    光拠点棟窒素ガス供給系統が停止されるため
    下記の日時で窒素ガス利用装置の利用を停止いたします。

    停止期間：3月 9日(水)10:00~16:00
    　　　　　3月17日(木)10:00~16:00

  • Notice of partial suspension of equipment use due to nitrogen gas supply suspension(3/9,3/17)

    Stop using some instruments for nitrogen gas supply suspension.

    Date: Wednesday, March 9, 10:00 ~16:00
    Thursday, March 17, 10:00 ~16:00

電気炉A利用停止のお知らせ(2/4-)※追記あり

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  • 電気炉A装置利用停止のおしらせ

    ヒーター部の故障のため、利用を停止させていただきます。

    対応状況：業者のヒーター部交換作業を予定

    (2/16追記)復旧は最短でも5月頃となります。　

    相談がある場合は管理室までお問い合わせください。

  • Stop using Precision Diffusion Furnace A

    Trouble details: Failure of the heater part

    current situation: Schedule parts replacement work
    Restoration will take place in May at the earliest.

    If you have any questions, please contact the CR office.

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ

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  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間：12月27日(月)12:00~1月5日(水)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(木)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Monday,Dec 27, 12:00 ~ Wednesday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Thursday, Jan 6, 12:00