クリーンルームは、以下の日時に利用出来ません。
期日 ：2019年3月27日（水）13:30 ～ 14:30
理由 ：漏水検知器設置工事A clean room can’t be used the following date and time.
A fixed date : March 27 Wednesday 13:30 – 14:30 in 2019
The purpose : For a water leaking detector and installation.
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり）
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 （3/20（水）復旧 追記あり）
トラブル：デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
原因：DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中3/20(水)
復旧終了しました
操作方法は使用停止前と同じになります。
Stop using Digital Microscope (DSX500) (3/13(wed) provisional recovery add postscript)
Troubling:It can’t be microscopic observation.
Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated.3/13(wed) Postscript
Provisional recovery finished.
Please note that there is a change in the operation method.
電子描画装置メンテナンス(2019/3/4～2019/3/15)
電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2019年3月4日（月）～ 3月15日(金)
目的 ：電子銃の交換
レーザー干渉計の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 4, 2019-Friday, March 15
The purpose : Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer
超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.
- 超純水装置利用を再開しました
事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
解決方法：圧力センサー交換 - Use of ultra pure water equipment was resumed
A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
Solution method: Pressure sensor exchange
エリプソ故障 復帰しました1/22 During a ellipsometer breakdown Use was resumed
エリプソ故障中 1/22(利用再開しました）
トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中 → 1月22日 利用再開During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed）
Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
Cause: For an error to occur at the time of a software start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated. 2019/01/22(Use was resumed）
CR装置の管理者予約制限のお知らせ
- CR装置の管理者予約制限のお知らせ
1 装置予約は、CR予約システムでの、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先
2 CR管理室での予約は、各研究室の予約時間限度(24時間)を超えてから
・1回目：当日から6日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：48時間まで）
・2回目：当日から5日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：72時間まで）
・3回目：当日から4日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：96時間まで） - News of administrator reservation restriction of CR equipment
1 Equipment reservation gives priority to the reserved time allocation in each laboratory by a CR reservation system (24 hours/7 days).
2 CR management office reservation is the reserved time limit of each laboratory (24 hours).
* The 1st time: From the day to within 6 days and the reserved time for 24 hours.
* The 2nd time: From the day to within 5 days and the reserved time for 24 hours.
* The 3rd time: From the day to within 4 days and the reserved time for 24 hours.
CR装置の管理者予約制限のお知らせ
CR装置の管理者予約制限のお知らせ 1 研究室での予約時間割り当て（24時間/7日間）を越え、1回目の予約であること 2 管理室での予約可能時間は、当日から6日以内とする News of administrator reservation restriction of CR equipment 1 Be the 1st time of reservation beyond the reserved time allocation at a laboratory (24 hours/7 days). 2 The reservation possible hour at the management office is made in the range for 6 days from the day.
・装置予約の原則として当日～7日間は、利用者がCR予約システムから予約する
・6日目～7日目は、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先するため、CR予約システムで1日間公開する
* For on the day-7 days, the user makes a reservation from a CR reservation system as a principle of equipment reservation.
クリーンルーム停止のお知らせ(12/27 09:00 ～ 1/8 09:00)
静岡大学の浜松キャンパスは、年末年始建物閉鎖となります。
このため、光創起棟1階クリーンルームは、装置を停止します。 停止期間は以下となります。
停止期間：平成30年12月27日（木）9時 ～ 平成31年1月8日（火）9時
注：描画装置は、装置起ち上げ作業のため、平成31年1月10日（木）16時に復旧見込みです。
Hamamatsu campus in Shizuoka University will be New Year’s building closing.
Therefore a clean room stops hikarisoukitou 1st floor of equipment. A stop period will be below.Stop period: 9:00 Thursday December 27 in 2018-9:00 Tuesday January 8 in 2019
Note: Equipment stands up and for work, EB drawing equipment is restored hope on January 10, 2019 at 16:00 Thursday.
CR予約システムの不具合について 12月4日(火)復活しました。
現在、電子工学研究所のサーバーメンテナンス中です。
このため、電研CR予約システムにも接続出来ません。
12月4日(火)には復帰すると思われますので、ご容赦願います。
よろしくお願いいたします。
局所排気装置点検のお知らせ 11月14日(水） 予備日11月16日(金)
クリーンルーム内の局所排気装置を点検します。
日時：11月14日(水）09:00～12：00となります。
雨天の場合は、11月16日(金) 09:00～12:00となります。
点検装置：下記装置が使用出来ません
現像用ドラフト・スピンコーター・ホットプレート・電気炉（A～D）
よろしくお願いいたします。