台風19号に伴う利用休止のお知らせ

台風19号の影響により、下記の日程でクリーンルームの利用を休止させていただきます。

期間　：2019年10月11日（金）17:00　～　2019年10月14日(月）8:30

電子描画装置と走査電子顕微鏡については停電対応として装置の立ち下げを行うため、
利用再開の日時は下記とさせていだきます。

走査電子顕微鏡：2019年10月14日（月）12:00~
電子描画装置　：2019年10月15日（火） 8:30~

About correspondence with typhoon 19

A clean room can’t be used the following period about typhoon 19.

A fixed date　:　 Friday,October 11, 17:00　 ～　Monday, October 13 8:30

The resumption date for Scanning Electron Microscope(SEM) and Electron Beam Lithography System(EB)
is as follows

SEM: Monday ,October 14 12:00~
EB : Tuesday,October 15 8:30~

汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ

トラブル：ロータリーポンプのオイル逆流により真空引きが行えない

対応：装置の洗浄及びオイル交換

追記：10月9日　装置のメンテナンスが終了しました

Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)

Troubling:Unable to vacuum due to pump oil backflow.

Corresponding: Equipment cleaning and oil change.

P.S.　10/9 　Maintenance work finished.

電子描画装置使用再開のお知らせ

７月末から故障のため停止していた電子描画装置が、
部品交換修理が終わり使用を再開しました。

ご不便をお掛けいたしました。

Resume use Beam Lithography System

Sorry for the inconvenience

ECRスパッタ装置使用停止のお知らせ

トラブル：ビーム出しが行えない

対応：問い合わせ中
再開予定：９月上旬

Stop using Solid Source ECR Plasma Deposition System

Troubling:No beam is generated.

Corresponding: Under inquiry.
Scheduled to resume: Early September.

電子描画装置使用停止のお知らせ

トラブル：電子銃の故障のため

対応：問い合わせ中
停止期間：未定

Stop using Electron Beam Lithography System

Troubling:Electron gun failure.

Corresponding: Under inquiry.
Stop period: Undecided.

電子描画装置使用停止のお知らせ

トラブル：昨夜の瞬間停電によるビーム停止のため

対応：電子ビームの再立ち上げを実行
停止期間：7月24日16:00まで

Stop using Electron Beam Lithography System

Troubling:Beam stop due to instantaneous blackouts last night.

Corresponding: Execute re-launch of electron beam.
Stop period: 7/23 ～16:00.

走査電子顕微鏡(SEM)使用停止のお知らせ

トラブル：試料ステージエラーにより観察が行えない。

対応：メーカへ点検作業を依頼
停止期間：7月23日再開予定

追記：7月23日使用再開しました。

Stop using SEM(7/23 Resume use)　

Troubling:Observation can not be performed due to sample stage error.

Corresponding: Ask the manufacturer to inspection work.
Stop period: It’s being investigated.

電気炉A使用停止のお知らせ

トラブル：電磁弁の不具合により窒素が流れない。

対応：メーカへ部品交換を依頼
停止期間：8月2日部品交換作業

追記：(8/2)修理作業が終わりました。
　　　　　 利用を再開しました。　　

Stop using Precision Diffusion Furnace　A

Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure　.

Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
Stop period: It’s being investigated.

Postscript：Repair work is over(8/2)

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 （3/20（水）復旧　追記あり）

トラブル：デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
原因：DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中

3/20(水)

復旧終了しました

操作方法は使用停止前と同じになります。

Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery 　add postscript)

Troubling:It can’t be microscopic observation.

Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated.

3/13(wed) Postscript

Provisional recovery finished.

Please note that there is a change in the operation method.

事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
解決方法：圧力センサー交換

A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
Solution method: Pressure sensor exchange