年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ

  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間:12月25日(金)12:00~1月5日(火)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(水)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Friday,Dec 25, 12:00 ~ Tuesday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Wednesday, Jan 6, 12:00

卓上型ランプ加熱装置利用開始のお知らせ

  • 卓上型ランプ加熱装置利用開始のお知らせ

    昨年度設置工事が行われた卓上型ランプ加熱装置の利用を開始いたします。
    使用記録簿及び機器予約に関しては他装置と同様です。

    装置の詳細は下記をご参照ください。

    ウェーハプロセス用 処理装置

    装置の利用説明についてはMoraru研究室までお問い合わせをお願いいたします。

  • Notice of Desktop Lamp Annealing Availability

    We will start using Desktop Lamp Annealing that was installed last year.
    The usage logs and reservations are the same as for other devices.

    For more information about the equipment, please see the following

    ウェーハプロセス用 処理装置

    Please contact the Moraru laboratory for an explanation of the use of the equipment.

電子線描画装置、ドラフト、超純水精製装置使用停止のお知らせ(11/11追記あり)

  • 電子線描画装置、ドラフト使用停止のお知らせ

    手元開閉器(ブレイカー)取替工事のため、
    下記の日程で装置の使用を停止させていただきます。

    当日は工事の影響で粉塵が発生する可能性があります。
    予めご了承ください。

    ・電子線描画装置  11月11日(水) 9:00 ~ 11月12日(木) 15:00

         酸ドラフト
    ・アルカリドラフト 11月11日(水) 9:00 ~ 15:00
      超純水精製装置

    追記(11/11) 工事が終了しました。

    ドラフト、超純水は午後から利用できます。

    電子線描画装置は11月12(木)10:00から利用可能になります。

  • Stop using EB Lithography System, Fume Hood(Acid, Alkali), Ultrapure Water Production System

    Stop using the above equipment
    for the replacement work of available electrical switch (circuit breaker).

    There is a possibility that dust may be generated on the day of the event due to construction.
    I appreciate your understanding.

    Date :  EB Lithography System Wednesday, November 11, 9:00 ~ Thursday, November 12 15:00

    Fume Hood(Acid, Alkali) Wednesday, November 11, 9:00 ~ 15:00
    Ultrapure Water Production System

工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ(9/25 8:30-15:00)

  • 工事によるクリーンルーム利用停止のお知らせ

    pH警報盤及び回転灯の取付け工事のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:9月25日(金) 8:30~15:00

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for the installation of a pH alarm panel and revolving light.

    Date :  Friday, Sep 25, 8:30 ~15:00

クリーンルーム利用停止のお知らせ(8/28 12:00-9/8 12:00)※9/8追記

  • 8月29日(土)と30日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い、クリーンルームの設備メンテナンスが入ります。
    つきましては光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。

    ・28日12時~ :クリーンルーム装置利用停止
    ・29日~30日   :停電日
    ・31日~9月1日  :空調保守点検
    ・31日~9月2日 :冷却水設備点検
    ・9月2日~4日   :特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    ・9月8日12時   :クリーンルーム装置利用再開

    各装置の利用再開は9月8日(火)12時以降を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月10日(木)以降に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。

    9/8追記:描画装置の利用は9/9(水)の8時より再開いたします。

  • On August 29th (Sat) and 30th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.

    ・27 From 12 o’clock Device use suspension
    · 28 – 29th: Simultaneous blackout
    · 31 – Sep 1st: Air conditioning maintenance inspection
    · 31 – Sep 2rd: Cooling water Equipment Inspection
    · Sep 2nd – 4th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    ・Sep 8th From 12 o’clock Device usage resume

    Resumption of use of each device is planned after inspection on September 8.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 10.
    We will inform you again when there is an update of information.

    9/8 NOte: EB Lithography System will resume at 8:00 a.m. on Wednesday, September 9.

クリーンルーム利用停止のお知らせ(7/17 9:00-12:00)

  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    圧縮空気の供給設備定期点検作業のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:7月17日(水) 9:00~12:00頃

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for inspection of nitrogen gas and compressed air equipment.

    Date :  Friday, July 17, 9:00 ~12:00

クリーンルーム利用停止のお知らせ(3/25)

  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    業者による窒素ガスと圧縮空気の供給設備点検作業のため、
    下記の日程でクリーンルームの利用を停止させていただきます。

    停止期間:3月25日(水) 9:00~17:00頃

  • Notice of no entry Clean Room for gas inspection

    Stop using clean room equipment
    for inspection of nitrogen gas and compressed air equipment.

    Date :  Wednesday, March 25, 9:00 ~17:00