一部装置使用停止のお知らせ(7/20)

by Posted in 未分類

  • 一部装置利用停止のお知らせ

    エアーコンプレッサー機修理作業のため、
    下記の日程で圧縮空気の供給が停止されます。
    そのため圧縮空気を利用する装置は下記の時間利用できません。

    停止期間：7月20日(火)9:00~17:00

  • Stop using some instruments for air compressor construction

    Stop using some instruments for air compressor construction

    Compressed air supply stops for air compressor construction.
    So stop using some instruments.

    Date: Tuesday, July 20, 9:00 ~17:00

電子線描画装置使用再開のお知らせ(6/26 17:00-)

by Posted in 未分類

  • 電子線描画装置使用再開のお知らせ

    冷却装置の代替機との交換が終了しました。
    立ち上げた電子銃が安定した明日17:00以降に使用を再開します。

  • Electron Beam Lithography System　restoration

    Replacement of the cooling system with an alternative unit has been completed.
    We will resume use after 5:00 p.m. tomorrow, when the electron gun has stabilized.

電子線描画装置使用停止のお知らせ(6/17-)※6/22追記

by Posted in 未分類

  • 電子線描画装置使用停止のおしらせ

    トラブル：冷却装置の異常及び真空度の低下

    対応：メーカーに問い合わせ中
    停止期間：未定

    6/22追記：冷却装置の交換作業を検討しております。
    　　　　　先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    Corresponding: Cooling system malfunction and　decrease in vacuum
    Stop period: undecided

イエロールーム利用停止のお知らせ(5/14)

by Posted in 未分類

  • クリーンルーム利用停止のお知らせ

    イエロールーム空調機部品交換作業のため、
    下記の日程でイエロールームの利用を停止させていただきます。

    停止期間：5月14日(金) 9:00～17:00

  • Notice of no entry Lithography Room for air conditioner construction

    Stop using lithography room equipment
    for air conditioner construction.

    Date　:　 Friday, May 14, 9:00 ～17:00