電気炉A使用停止(※8月2日利用再開)

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  • 電気炉A使用停止のお知らせ

    トラブル：電磁弁の不具合により窒素が流れない。

    対応：メーカへ部品交換を依頼
    停止期間：8月2日部品交換作業

    追記：(8/2)修理作業が終わりました。
    　　　　　 利用を再開しました。　　

  • Stop using Precision Diffusion Furnace　A

    Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure　.

    Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
    Stop period: It’s being investigated.

    Postscript：Repair work is over(8/2)

クリーンルームは、3/27 13:30～16:30、利用出来ません。 A clean room can’t be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 – 14:30

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  • クリーンルームは、以下の日時に利用出来ません。

    期日　：2019年3月27日（水）13:30　～　14:30
    理由　：漏水検知器設置工事

  • A clean room can’t be used the following date and time.

    A fixed date　:　 March 27 Wednesday 13:30 – 14:30 in 2019
    The purpose　 :　 For a water leaking detector and installation.

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり）

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  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 （3/20（水）復旧　追記あり）

    トラブル：デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
    原因：DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
    対応：メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間：調査中

    3/20(水)

    復旧終了しました

    操作方法は使用停止前と同じになります。

  • Stop using  Digital Microscope (DSX500)  (3/13(wed) provisional recovery 　add postscript)

    Troubling:It can’t be microscopic observation.

    Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.

    3/13(wed) Postscript

    Provisional recovery finished.

    Please note that there is a change in the operation method.

電子描画装置メンテナンス(2019/3/4～2019/3/15)

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  • 電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。

    期日　：2019年3月4日（月）～　3月15日(金)

    目的　：電子銃の交換

    レーザー干渉計の交換

  • Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.

    A fixed date　:　 Monday, March 4, 2019-Friday, March 15

    The purpose　:　 Exchange of an electron gun
    Exchange of a laser interferometer

超純水装置利用を再開しました　Use of ultra pure water equipment was resumed.

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  • 超純水装置利用を再開しました

    事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
    トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
    解決方法：圧力センサー交換

  • Use of ultra pure water equipment was resumed

    A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
    The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
    Solution method: Pressure sensor exchange

エリプソ故障 復帰しました1/22　During a ellipsometer breakdown　Use was resumed

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  • エリプソ故障中 　1/22(利用再開しました）

    トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
    原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
    対応：メーカへ原因調査を依頼中
    停止期間：調査中　→　1月22日　利用再開

  • During a ellipsometer breakdown　2019/01/22(Use was resumed）

    Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
    Cause: For an error to occur at the time of a software start.
    Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
    Stop period: It’s being investigated.　　2019/01/22(Use was resumed）

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

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  • CR装置の管理者予約制限のお知らせ

    1　装置予約は、CR予約システムでの、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先

    2　CR管理室での予約は、各研究室の予約時間限度(24時間)を超えてから
    ・1回目：当日から6日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：48時間まで）
    ・2回目：当日から5日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：72時間まで）
    ・3回目：当日から4日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：96時間まで）

  • News of administrator reservation restriction of CR equipment

    1 Equipment reservation gives priority to the reserved time allocation in each laboratory by a CR reservation system (24 hours/7 days).

    2 CR management office reservation is the reserved time limit of each laboratory (24 hours).
    * The 1st time: From the day to within 6 days and the reserved time for 24 hours.
    * The 2nd time: From the day to within 5 days and the reserved time for 24 hours.
    * The 3rd time: From the day to within 4 days and the reserved time for 24 hours.

CR装置の管理者予約制限のお知らせ

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  •                CR装置の管理者予約制限のお知らせ

    1 研究室での予約時間割り当て（24時間/7日間）を越え、1回目の予約であること
    ・装置予約の原則として当日～7日間は、利用者がCR予約システムから予約する

    2 管理室での予約可能時間は、当日から6日以内とする
    ・6日目～7日目は、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先するため、CR予約システムで1日間公開する

  • News of administrator reservation restriction of CR equipment

    1 Be the 1st time of reservation beyond the reserved time allocation at a laboratory (24 hours/7 days).
    * For on the day-7 days, the user makes a reservation from a CR reservation system as a principle of equipment reservation.

    2 The reservation possible hour at the management office is made in the range for 6 days from the day.