薬品管理システム保守点検 10/3 13:30～14:30

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光創起棟の薬品管理システム保守点検日は、10月3日(水)13:30～14：30の予定です。

上記の時間を割けて、薬品を取り出して下さい。

よろしくお願いいたします。　クリーンルーム管理室

 

平成30年9月21日
薬品管理システム利用者　各位
安全衛生センター

薬品管理システム保守点検について（通知)

日頃、薬品管理システムのご利用ありがとうございます。
連絡が遅くなり大変申し訳ございませんが、本システムの維持管理のため
平成30年度薬品管理システムの保守点検を下記の日程で実施いたします。
当日は業者が各薬品管理室にて保守点検作業（約１時間）を行ないます
ので、ご協力方よろしくお願いいたします。
端末保守作業中は一時間程度、利用できませんので行程表を参考に調整
いただければ幸いです。
点検時間は保守作業により若干前後することがありますがご了承下さい。

※端末に関しては、点検時のみ一時的に停止する時間が発生します。
サーバーは原則として停止しませんが、バックアップ作成時のみ一時的に
停止する場合がありますのでご了承願います。

 

【Vacuum Deposition System】蒸着装置（汎用） 修理完了

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  • 蒸着装置（汎用）のスイッチ部品が故障したため、現在使用停止しています。
    部品の交換は7/23以降に行う予定です。
    部品交換が完了しましたら、改めてお知らせいたします。

    【7/31追記】
    交換部品の納期は2週間後とのことです。

    【8/20追記】
    交換部品の到着は8/24(金)の予定です。
    ただし、24日午後からクリーンルームは翌日の停電に備える作業に入るため、蒸着装置の利用再開は8/31(金)以降になります。
    停電に関するお知らせは以下をご参照ください。

    【8/31追記】

    蒸着装置漏電ブレーカを交換し、修理完了しました。

    【Disabled Device】8月25,26日の停電について

  • Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) is inactive for switch component failure.
    Parts will be exchanged after July 23.
    We will inform you again once parts exchange is completed.

    【Add on 7/31】
    The delivery date of replacement parts is 2 weeks later.

    【Add on 8/20】
    The arrival of replacement parts is scheduled for 8/24 (Friday).
    However, from the afternoon of the 24th, clean room will start preparing for power outage the next day, resuming use of Vacuum Deposition System will be after 8/31 (Friday).
    Please refer to the following for announcements concerning power outages.

    【Add on 8/31】
    Restoration work is over.

    【Disabled Device】8月25,26日の停電について

【Disabled Device】8月25,26日の停電について

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  • 8月25日(土)と26日(日)に城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
    それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。
    ・25~26日：停電日
    ・27~28日：空調保守点検
    ・29~31日：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
    各装置の利用再開は31日の点検終了後を予定しています。
    ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため翌週に再開する予定です。
    情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。


  • On August 25th (Sat) and 26th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
    Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.
    · 25 – 26th: Simultaneous blackout
    · 27 – 28th: Air conditioning maintenance inspection
    · 29 – 31st: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
    Resumption of use of each device is planned after inspection on 31st.
    However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the next week.
    We will inform you again when there is an update of information.


【EB Lithography System】電子線描画装置停止中

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  • 先週末の台風の影響で描画装置の一部機能が停止してしまいました。
    復旧作業には2日ほどかかります。
    復旧作業が終了しましたら、改めてお知らせいたします。
    【8/2追記】
    復旧作業は終了しました。
  • Due to the typhoon of the last weekend, some functions of the Lithography System stopped.
    It will take about 2 days for recovery work.
    We will inform you again once the restoration work is over.
    【Add on 8/2】
    Restoration work is over.

【Chemicals】試薬製造社名の変更について

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  • 2018年4月1日から、「和光純薬工業株式会社」は「富士フィルム和光純薬株式会社」に社名変更しました。
    それに伴い、電研CRで利用しているいくつかの試薬のラベルデザイン等に変化がありました。
    試薬の規格は以前と同じですので、安心してご使用ください。
    和光の社名変更に関しては以下のリンク先をご参照ください。
    http://ffwk.fujifilm.co.jp/news/index.html
  • “Wako Pure Chemical Industries, Ltd.” changed its name to “FUJIFILM Wako Pure Chemical Corporation” from April 1, 2018.
    Along with that, there was a change in the design etc. of some of the chemicals used in RIE CR.
    Chemical standards are the same as before, please use with confidence.
    Please refer to the link below for the change of company name of Wako.
    http://ffwk.fujifilm.co.jp/en/news/index.html

【Notice】廃液貯留場所について

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  • ユーティリティ室の廃液貯留所は現在工事中（未完成）です。
    こちらに廃液を運び込まないようお願い致します。
    工事が完了するまでは酸ドラフト・アルカリドラフトが臨時貯留所となっております。
    廃酸タンクはふたを緩め、酸ドラフトの中でガスを逃がしてください。
    その他の廃液タンクは蓋をしっかりと閉め、アルカリドラフトに入れてください。
    ユーティリティ室の廃液貯留所の工事が完了したら改めてお知らせいたします。
    よろしくお願い致します。
  • Waste reservoir of utility room is under construction (incomplete).
    Please do not carry waste liquid here.
    Hume Foods (for acidic chemicals / for alkaline chemicals) are temporary reservoir until construction is completed.
    Loosen the lid of waste acid tank and let the gas escape in the Hume Foods (for acidic chemicals).
    Close the lid of other waste liquid tank firmly and put it in the Hume Foods (for alkaline chemicals).
    We will inform you once the construction of the waste reservoir of utility room is completed.
    Thank you.

【Mask Aligner】アライナメンテナンス（7/4完了）

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  • アライナのメンテナンスを7/3～5に行います。
    メンテナンス中は装置を使用できません。
    【7/4追記】
    メンテナンスが終了しました。
    アライナは利用可能です。
  • Maintenance of the Mask Aligner will be carried out from July 3rd to 5th.
    It can not be used during maintenance.
    【Add on 7/4】
    Maintenance is completed.
    Mask Aligner is currently available.

【Vacuum Deposition System】蒸着装置（汎用）メンテナンス（7/4完了）

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  • 真空蒸着装置（汎用）はDPメンテナンスのため休止中です。
    利用再開は7/4（水）を予定していますが、メンテナンスの進捗により前後する可能性もあります。
    メンテナンス作業の経過状況は以下のようになっています。
    ********************
    6/28（木）トラブル発生、DP冷却待ち
    6/29（金）オイル交換、DP内洗浄（完了）、DP内真空引き
    7/2（月）真空引きテスト
    　　　　　結果：8時間かけて目標圧力に到達
    7/3（火）真空引きテスト
    　　　　　結果：3時間かけて9*10^－4[Pa]に到達
    　　　　　DP内真空引き（一晩中）
    7/4（水）真空引きテスト
    　　　　　結果：2.3時間かけて目標圧力に到達
    　　　　　午後から利用再開
  • Vacuum Vapor Deposition System (general purpose) is inactive for DP maintenance.
    Although we plan to resume use on July 4 (Wed), there is also the possibility of going back and forth depending on the progress of maintenance.
    The progress of maintenance work is as follows.
    ********************
    6/28 (Thu)：Trouble occurrence, DP cooling wait
    6/29 (Fri)：Oil change, DP cleaning (completed), Vacuum DP
    7/2 (Mon)：Vacuum test
    　　　　　　Result: It took 8 hours to reach the target pressure
    7/3 (Tue)：Vacuum test
    　　　　　　Result: It took 3 hours to reach 9 * 10 ^－4 [Pa] 　　　　　　Vacuum DP (Overnight)
    7/4 (Wed)：Vacuum test
    　　　　　　Result: It took 2.3 hours to reach the target pressure
    　　　　　　Resume usage from the afternoon