- 8月24日(土)と25日(日)は、城北キャンパス内全体で停電が実施されます。
それに伴い光創起棟CRは以下の日程で出入禁止となります。・23日(金）12時：クリーンルーム装置利用停止
・24~25日：停電日
・26~27日：空調保守点検
・28~30日：特殊ガス供給設備点検・エアーコンプレッサ保守点検
・9月3日(火）12時：クリーンルーム装置利用再開各装置の利用再開は9月3日（火）12時以降を予定しています。
ただし、描画装置は立ち上げ操作に数日必要なため9月5日(木)以降に再開する予定です。
情報の更新がありましたら改めてお知らせいたします。 - On August 24th (Sat) and 25th (Sun), blackout will be implemented throughout the Johoku campus.
Along with that, the iPERC CR will be banned from entering the following schedule.・23 From 12 o’clock Device use suspension
· 24 – 25th: Simultaneous blackout
· 26 – 27th: Air conditioning maintenance inspection
· 28 – 30th: Special gas supply equipment inspection, Air compressor maintenance inspection
・September 3 From 12 o’clock Device usage resumeResumption of use of each device is planned after inspection on September 3.
However, since the EB Lithography System requires several days for the startup operation, it is scheduled to resume the September 5.
We will inform you again when there is an update of information.
【Ultrapure Water】断水のお知らせ
- 日程：2019年9月4日(水) 13:00~16:00
影響：断水に伴い超純水の製造が停止します。 - Date: September 4 (Wednsday),2019 13: 00 ~ 16: 00
Failure: Production of ultrapure water will stop due to water cutoff.
電気炉A使用停止(※8月2日利用再開)
電気炉A使用停止のお知らせ
トラブル：電磁弁の不具合により窒素が流れない。
対応：メーカへ部品交換を依頼
停止期間：8月2日部品交換作業追記：(8/2)修理作業が終わりました。
利用を再開しました。Stop using Precision Diffusion Furnace A
Troubling:Nitrogen does not flow from solenoid valve failure .
Corresponding: Ask the manufacturer to replace parts.
Stop period: It’s being investigated.Postscript：Repair work is over(8/2)
クリーンルーム休止期間（4/27～5/6)のお知らせ
- クリーンルームは、以下の期間利用出来ません。
期間 ：2019年４月27日（土） ～ 2019年5月6日(月)
理由 ：長期休業中の安全確保のため A clean room can’t be used the following period.
A fixed date : Saturday, April 27, ～ Monday, May 6
A reason : The safety ensuring closing down long.
クリーンルームは、3/27 13:30～16:30、利用出来ません。 A clean room can’t be used the following date and time. March 27 Wednesday 13:30 – 14:30
クリーンルームは、以下の日時に利用出来ません。
期日 ：2019年3月27日（水）13:30 ～ 14:30
理由 ：漏水検知器設置工事A clean room can’t be used the following date and time.
A fixed date : March 27 Wednesday 13:30 – 14:30 in 2019
The purpose : For a water leaking detector and installation.
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止(3/20 復旧 追記あり）
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止 （3/20（水）復旧 追記あり）
トラブル：デジタルマイクロスコープの観察が行えない。
原因：DSX-500の立上げ中にエラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中3/20(水)
復旧終了しました
操作方法は使用停止前と同じになります。
Stop using Digital Microscope (DSX500) (3/13(wed) provisional recovery add postscript)
Troubling:It can’t be microscopic observation.
Cause: For an error to occur at the time of DSX-500 start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated.3/13(wed) Postscript
Provisional recovery finished.
Please note that there is a change in the operation method.
電子描画装置メンテナンス(2019/3/4～2019/3/15)
電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2019年3月4日（月）～ 3月15日(金)
目的 ：電子銃の交換
レーザー干渉計の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 4, 2019-Friday, March 15
The purpose : Exchange of an electron gun
Exchange of a laser interferometer
超純水装置利用を再開しました Use of ultra pure water equipment was resumed.
- 超純水装置利用を再開しました
事象：1月22日(火)10時～15時の期間、利用出来ませんでした
トラブル内容：純水装置の圧力センサー異常
解決方法：圧力センサー交換 - Use of ultra pure water equipment was resumed
A phenomenon: A period at 10:00 Tuesday January 22-15:00, it couldn’t be used.
The trouble contents: Pressure sensor abnormality of water desalter
Solution method: Pressure sensor exchange
エリプソ故障 復帰しました1/22 During a ellipsometer breakdown Use was resumed
エリプソ故障中 1/22(利用再開しました）
トラブル：エリプソでの膜厚測定は、出来ません。
原因：ソフトウエア起動時に、エラーが発生するため。
対応：メーカへ原因調査を依頼中
停止期間：調査中 → 1月22日 利用再開During a ellipsometer breakdown 2019/01/22(Use was resumed）
Troubling: Film thickness measurement can’t be done.
Cause: For an error to occur at the time of a software start.
Corresponding: Investigation into the cause is being requested from a manufacturer.
Stop period: It’s being investigated. 2019/01/22(Use was resumed）
CR装置の管理者予約制限のお知らせ
- CR装置の管理者予約制限のお知らせ
1 装置予約は、CR予約システムでの、各研究室の予約時間割り当て（24時間/7日間）を優先
2 CR管理室での予約は、各研究室の予約時間限度(24時間)を超えてから
・1回目：当日から6日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：48時間まで）
・2回目：当日から5日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：72時間まで）
・3回目：当日から4日間以内、予約時間24時間まで（各研究室合計：96時間まで） - News of administrator reservation restriction of CR equipment
1 Equipment reservation gives priority to the reserved time allocation in each laboratory by a CR reservation system (24 hours/7 days).
2 CR management office reservation is the reserved time limit of each laboratory (24 hours).
* The 1st time: From the day to within 6 days and the reserved time for 24 hours.
* The 2nd time: From the day to within 5 days and the reserved time for 24 hours.
* The 3rd time: From the day to within 4 days and the reserved time for 24 hours.