電子線描画装置利用再開のおしらせ
電子線描画装置の復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因：条件設定テキストファイルの記憶容量逼迫によるソフトウェア異常
対応：データの整理による記憶容量の改善electron Beam Lithography System restoration
The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
Use of the system will be resumed.
エリプソメーター利用再開のお知らせ
エリプソメーター利用再開のおしらせ
エリプソメーターの復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因：受光部内部の回転検光子伝達ベルトの破断
対応：上記の部品交換ellipsometer restoration
The restoration of the ellipsometer has been completed.
Use of the system will be resumed.
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)利用再開のお知らせ
デジタルマイクロスコープ利用再開のおしらせ
デジタルマイクロスコープの復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因：アプリケーション起動中にPCの強制シャットダウン
対応：業者対応によるソフトの再インストールdigital Microscope restoration
The restoration of the digital Microscope has been completed.
Use of the system will be resumed.
電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
トラブル：JOB3ウィンドウが開かない
対応：メーカーとの対応中
停止期間：未定(1/27現在)Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)
JOB3 does not launch.
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided
エリプソメーター使用停止のお知らせ(1/18-)(1/23追記)
エリプソメーター使用停止のおしらせ
トラブル：ハードウェアの初期化が行えず、立ち上がらない
対応：メーカーへ修理依頼中
停止期間：未定(1/23追記)1/25(水)メーカー修理作業予定
Stop using Ellipsometer(1/18-)
Unable to perform hardware initialization
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ(1/13-)(1/20追記)
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ
トラブル：アプリケーションが立ち上がらない
対応：メーカーへ問い合わせ対応
停止期間：未定(1/20追記) 1/24(火)メーカー点検作業予定
Stop using Digital Microscope(1/13-)
Corresponding: Application does not launch
Stop period: undecided
年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ
年末年始、CR使用停止のお知らせ
年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
CRの使用を停止させていただきます。停止期間：12月26日(月)12:00~1月5日(木)13:30
電子描画装置については
1月6日(金)12:00からの利用を再開します。Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.
We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.
Date: Monday,Dec 26, 12:00 ~ Thursday, Jan 5, 13:30
About Electron Beam Lithography System,
you can use that from Friday, Jan 6, 12:00
スピンコーター利用再開のお知らせ
スピンコーター利用再開のおしらせ
スピンコーターの上蓋修復作業が終了しました。
利用を再開いたします。spincoater restoration
The restoration of the ｓpincoater has been completed.
Use of the system will be resumed.
スピンコーター利用停止のお知らせ(11/22-11/24)
スピンコーター利用停止のおしらせ(4/20)
スピンコーターの破損した上蓋修復作業のため、
下記の日時で利用を停止いたします。停止期間：11月22日(火)9:00~11月24(木)17:00
Stop using Spincoater(11/22-11/24)
Due to the replacement of the upper lid of spincoater
Spincoater will be out of service on the following dates and times.Date: Tuesday, November 22, 9:00 ~ Thursday, November 24 17:00
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ※注意事項あり
ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ※注意事項あり
真空度異常の復旧が終わりました。
利用を再開いたします。部品交換の影響により、10.output controlの調整が難しくなっております。
利用再開後初めて利用される方は必ず管理室立会いの上、確認をお願いいたします。ECR restoration
The restoration of the vacuum anomaly has been completed.
Use of the system will be resumed.Due to the replacement of parts, it is difficult to adjust the 10.output control.
Please be sure to check the output control in the presence of the Management Office before using the room for the first time after the reopening.