電子描画装置メンテナンスのお知らせ(3/20-3/31)

  • 電子描画装置メンテナンスのお知らせ

    電子銃交換及びメンテナンスのため、
    下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。

    期間 :2023年3月20日(月)8:00 ~ 3月31日(金)17:00

  • Stop using Electron Beam Lithography System

    For electron gun replacement and maintenance,
    the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.

    A fixed date :  Monday, March 20, 8:00  ~ Friday, March 31, 17:00

電子線描画装置利用再開のお知らせ

  • 電子線描画装置利用再開のおしらせ

    電子線描画装置の復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    原因:条件設定テキストファイルの記憶容量逼迫によるソフトウェア異常
    対応:データの整理による記憶容量の改善

  • electron Beam Lithography System restoration

    The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
    Use of the system will be resumed.

デジタルマイクロスコープ(DSX-500)利用再開のお知らせ

  • デジタルマイクロスコープ利用再開のおしらせ

    デジタルマイクロスコープの復旧が終了しました。
    利用を再開いたします。

    原因:アプリケーション起動中にPCの強制シャットダウン
    対応:業者対応によるソフトの再インストール

  • digital Microscope restoration

    The restoration of the digital Microscope has been completed.
    Use of the system will be resumed.

エリプソメーター使用停止のお知らせ(1/18-)(1/23追記)

  • エリプソメーター使用停止のおしらせ

    トラブル:ハードウェアの初期化が行えず、立ち上がらない

    対応:メーカーへ修理依頼中
    停止期間:未定

    (1/23追記)1/25(水)メーカー修理作業予定

  • Stop using Ellipsometer(1/18-)

    Unable to perform hardware initialization

    Corresponding: Request for repair to the manufacturer
    Stop period: undecided

デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ(1/13-)(1/20追記)

  • デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ

    トラブル:アプリケーションが立ち上がらない

    対応:メーカーへ問い合わせ対応
    停止期間:未定

    (1/20追記) 1/24(火)メーカー点検作業予定

  • Stop using Digital Microscope(1/13-)

    Corresponding: Application does not launch
    Stop period: undecided

年末年始、クリーンルーム使用停止のお知らせ

  • 年末年始、CR使用停止のお知らせ

    年末年始の静岡大学浜松キャンパス閉鎖に伴い、
    CRの使用を停止させていただきます。

    停止期間:12月26日(月)12:00~1月5日(木)13:30

    電子描画装置については
    1月6日(金)12:00からの利用を再開します。

  • Notice of no service of CR during year-end and New Year holidays.

    We will stop using CR during the year-end and New Year holidays.

    Date: Monday,Dec 26, 12:00 ~ Thursday, Jan 5, 13:30

    About Electron Beam Lithography System,
    you can use that from Friday, Jan 6, 12:00

スピンコーター利用停止のお知らせ(11/22-11/24)

  • スピンコーター利用停止のおしらせ(4/20)

    スピンコーターの破損した上蓋修復作業のため、
    下記の日時で利用を停止いたします。

    停止期間:11月22日(火)9:00~11月24(木)17:00

  • Stop using Spincoater(11/22-11/24)

    Due to the replacement of the upper lid of spincoater
    Spincoater will be out of service on the following dates and times.

    Date: Tuesday, November 22, 9:00 ~ Thursday, November 24 17:00