フッ素RIE一部利用停止のお知らせ(4/10-)
石英リングの破損のため、下記の利用を停止いたします。
・カーボントレイ、石英リングを使用したエッチング(SiO2,SiNxエッチング)
停止期間:未定
Stop using parallel plate RIE System(4/10-)
Due to the breakage of quartz rings, we will stop using the following
Etching (SiO2,SiNx etching) using carbon trays and quartz ring
A fixed date:undecided
酸ドラフト利用再開のお知らせ
酸ドラフト利用再開のお知らせ
酸ドラフト(CYV-180VZ)の屋上排風機修理作業が終了しました。
利用を再開いたします。Fume Hood for acid restoration
The restoration of Fume Hood for acid has been completed.
Use of the system will be resumed.
酸ドラフト使用停止のお知らせ(追記3/22 時間変更)
酸ドラフト使用停止のお知らせ(3/22午後)
酸ドラフト(CYV-180VZ)の屋上排風機修理作業のため、
下記の日程で使用を停止いたします。停止期間:3月22日12:00~作業終了まで3/22追記:修理作業の予定変更のため、停止期間を下記とさせていただきます。
停止期間:3月22日9:00~作業終了までStop using Fume Hood for acid(3/22 12:00-)
Due to repair work on the rooftop exhaust fan of the Acid Draft (CYV-180VZ)
It will be stopped during the following period.A fixed date :March 22, from 12:00 to the end of the work
電子描画装置メンテナンスのお知らせ(3/20-3/31)
電子描画装置メンテナンスのお知らせ
電子銃交換及びメンテナンスのため、
下記の期間、電子描画装置の使用を停止させていただきます。期間 :2023年3月20日(月)8:00 ~ 3月31日(金)17:00
Stop using Electron Beam Lithography System
For electron gun replacement and maintenance,
the use of Electron Beam Lithography System will be stopped during the following period.A fixed date : Monday, March 20, 8:00 ~ Friday, March 31, 17:00
電子線描画装置利用再開のお知らせ
電子線描画装置利用再開のおしらせ
電子線描画装置の復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因:条件設定テキストファイルの記憶容量逼迫によるソフトウェア異常
対応:データの整理による記憶容量の改善electron Beam Lithography System restoration
The restoration of the electron Beam Lithography System has been completed.
Use of the system will be resumed.
エリプソメーター利用再開のお知らせ
エリプソメーター利用再開のおしらせ
エリプソメーターの復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因:受光部内部の回転検光子伝達ベルトの破断
対応:上記の部品交換ellipsometer restoration
The restoration of the ellipsometer has been completed.
Use of the system will be resumed.
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)利用再開のお知らせ
デジタルマイクロスコープ利用再開のおしらせ
デジタルマイクロスコープの復旧が終了しました。
利用を再開いたします。原因:アプリケーション起動中にPCの強制シャットダウン
対応:業者対応によるソフトの再インストールdigital Microscope restoration
The restoration of the digital Microscope has been completed.
Use of the system will be resumed.
電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
電子線描画装置使用停止のお知らせ(1/23-)
トラブル:JOB3ウィンドウが開かない
対応:メーカーとの対応中
停止期間:未定(1/27現在)Stop using Electron Beam Lithography System(1/23-)
JOB3 does not launch.
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided
エリプソメーター使用停止のお知らせ(1/18-)(1/23追記)
エリプソメーター使用停止のおしらせ
トラブル:ハードウェアの初期化が行えず、立ち上がらない
対応:メーカーへ修理依頼中
停止期間:未定(1/23追記)1/25(水)メーカー修理作業予定
Stop using Ellipsometer(1/18-)
Unable to perform hardware initialization
Corresponding: Request for repair to the manufacturer
Stop period: undecided
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ(1/13-)(1/20追記)
デジタルマイクロスコープ(DSX500)使用停止のおしらせ
トラブル:アプリケーションが立ち上がらない
対応:メーカーへ問い合わせ対応
停止期間:未定(1/20追記) 1/24(火)メーカー点検作業予定
Stop using Digital Microscope(1/13-)
Corresponding: Application does not launch
Stop period: undecided